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新規単結晶皮膜の形成方法

Research Project

Project/Area Number 18655086
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Inorganic industrial materials
Research InstitutionShinshu University

Principal Investigator

大石 修治  Shinshu University, 工学部, 教授 (50021027)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 手嶋 勝弥  信州大学, 工学部, 助教 (00402131)
鈴木 孝臣  信州大学, 工学部, 准教授 (20196835)
Project Period (FY) 2006 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,800,000 (Direct Cost: ¥3,800,000)
Fiscal Year 2008: ¥500,000 (Direct Cost: ¥500,000)
Fiscal Year 2007: ¥700,000 (Direct Cost: ¥700,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,600,000)
Keywords結晶成長 / 結晶工学 / 単結晶皮膜 / 結晶材料 / 環境材料 / エピタキシャル成長 / フラックス法 / 複合化基板 / コランダム
Research Abstract

本年度は,平成19・20年度に実施した「Al_2O_3表面へのコランダム単結晶皮膜のエピタキシャル成長」の更なる深化とともに,「その他の単結晶皮膜の作製と応用」に関する研究を推進し,フラックス蒸発エピタキシー(フラックス成膜)法の確立をめざした。
はじめに,フラックス蒸発法の成膜条件(特に保持温度と昇温時間)を制御し,さらに,フラックス(溶媒)中への基板投入のタイミングを調整することで,超ファイン成膜(高被覆再現性)を試みた。特に,サファイア(Al_2O_3)表面へのルビー(Al_2O_3:Cr)エピタキシャル成長の場合,高温保持段階に達したるつぼに基板を投入することで,昇温時の基板表面の溶解を抑制でき,きわめて微細な結晶薄膜作製を実現した。また,育成条件の中でも昇温速度と保持温度を増大することで,膜厚を数百μmから,数百nm〜数μm程度まで薄膜化することに成功した。この結果,さらなる細線再現性を実現できた。この条件を用いて,複雑な立体構造をもつアルミナ材料表面をルビー薄膜で一様に覆うサンプルも作製できた。
昨年度,さまざまな希土類元素や遷移金属元素を取り込んだAl_2O_3系結晶薄膜の作製に成功した。本年度は,環境浄化への応用をめざし,チタン酸ナトリウム結晶皮膜の作製を試みたところ,NaClフラックス蒸発法にて繊維状チタン酸ナトリウム結晶がサファイア(0001)基板表面に晶出する様子が観察された。この場合,繊維状チタン酸ナトリウム結晶が,サファイア{0001}面に起因した配向成長する様子(三角形の成長模様)が観察された。このチタン酸ナトリウム結晶は,光触媒特性や選択的吸着特性をもつこともわかった。

Report

(3 results)
  • 2008 Annual Research Report
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (13 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 5 results) Presentation (8 results)

  • [Journal Article] ルビー結晶薄膜のフラックスコーティング2009

    • Author(s)
      大石修治
    • Journal Title

      Journal of the Society of Inorganic Materials, Japan 16

      Pages: 3-7

    • NAID

      10024655113

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ルビー結晶のフラックス育成 -アルミニウムフォイル廃棄物を原料として-2008

    • Author(s)
      大石修治
    • Journal Title

      Journal of Flux Growth 3

      Pages: 28-30

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Highly Crystalline Ruby Coating on α-Al_2O_3 Surfaces by Flux Evaporation2007

    • Author(s)
      Katsuya Teshima
    • Journal Title

      Journal of the Ceramic Society of Japan 115(6)

      Pages: 379-382

    • NAID

      110006279037

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] フラックス成長とその歴史2007

    • Author(s)
      大石修治
    • Journal Title

      Journal of Flux Growth 2(1)

      Pages: 2-8

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] コランダム結晶のフラックス成長2007

    • Author(s)
      大石修治
    • Journal Title

      Journal of Flux Growth 2(2)

      Pages: 70-74

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] フラックス育成したAl_2O_3 : Yb, Tm結晶薄膜の青色アップコンパーション発光2008

    • Author(s)
      日高美樹
    • Organizer
      第3回日本フラックス成長研究発表会
    • Place of Presentation
      国士館大学(東京)
    • Year and Date
      2008-12-19
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Growth mechanism of ruby epitaxial layers on sapphire substrates via flux evaporation2008

    • Author(s)
      Miki Hidaka
    • Organizer
      The IUMRS Internat ioal Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA 2008)
    • Place of Presentation
      Nagoya, Japan
    • Year and Date
      2008-12-09
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] フラックス蒸発法による三次元基材表面へのルビー被覆2008

    • Author(s)
      日高美樹
    • Organizer
      第24回日本セラミックス協会関東支部研究発表会
    • Place of Presentation
      ホテル花月園(神奈川)
    • Year and Date
      2008-07-24
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 水車でルビー結晶づくり -ものづくり・環境教育-2007

    • Author(s)
      芦澤孝彦
    • Organizer
      第2回日本フラックス成長研究発表会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2007-12-13
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] ルビー単結晶薄膜のフラックス蒸発成長 -成長模様の経時変化-2007

    • Author(s)
      日高美樹
    • Organizer
      第2回日本フラックス成長研究発表会
    • Place of Presentation
      東北大学
    • Year and Date
      2007-12-13
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Epitaxial Growth of Ruby Film by Na_2O-MoO_3 Flux Evaporation2007

    • Author(s)
      Miki Hidaka
    • Organizer
      The 18th Symposium of The Materials Research Society of Japan
    • Place of Presentation
      Nihon University
    • Year and Date
      2007-12-08
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] フラックス蒸発法により作製したルビー薄膜のエピタキシャル成長様式観察2007

    • Author(s)
      日高美樹
    • Organizer
      (社)表面技術協会第116回講演大会
    • Place of Presentation
      長崎大学
    • Year and Date
      2007-09-18
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] クロムとニッケルをドープしたコランダムエピタキシャル結晶薄膜のフラックス育成2007

    • Author(s)
      日高美樹
    • Organizer
      (社)日本セラミックス協会第20回秋季シンポジウム
    • Place of Presentation
      名古屋工業大学
    • Year and Date
      2007-09-12
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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