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プラズマを用いたナノカプセルの創製と物質内包技術の開発

Research Project

Project/Area Number 18656027
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Applied physics, general
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

白谷 正治  Kyushu University, 大学院・システム情報科学研究院, 教授 (90206293)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 古閑 一憲  九州大学, 大学院・システム情報科学研究院, 助教 (90315127)
Project Period (FY) 2006 – 2007
Project Status Completed (Fiscal Year 2007)
Budget Amount *help
¥3,400,000 (Direct Cost: ¥3,400,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,000,000 (Direct Cost: ¥2,000,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,400,000 (Direct Cost: ¥1,400,000)
Keywordsナノ粒子 / プラズマ / 空洞化 / ナノ構造体 / イオン抗力 / パルス変調放電 / ナノカプセル / マルチホロー放電 / 電子線照射
Research Abstract

近年、ナノスケールの構造体(ナノ構造体)の創製が盛んに行われている。ナノ構造体は比表面積が大きく反応性が高くなるため保存・輸送が難しいという短所を持つ。この短所を克服する方法として、中空孔構造を持ったナノ粒子(ナノカプセル)が、内部の物質を外界に晒すことなく化学反応性の高い材料でも保存・輸送可能であるため、材料工学分野だけでなく、医学・薬学をはじめとする生化学分野で注目されている。本研究では、申請者が開発したナノ粒子サイズ制御法を応用して、サイズを数nmから数百nmの範囲で自在に制御できるナノカプセルの作製法と金属クラスタ内包ナノカプセルの作製法の開発を目的としている。本年度は以下の成果を得た。
1.金属クラスタ内包ナノカプセルの作製法として、ナノカプセルを金属粒子に衝突させる方法が考えられる、この方法の場合、ナノカプセルを生成領域から高速に輸送させる、標的に衝突させる必要がある。本年度は、反応性プラズマを用いて作製したナノ粒子を、生成領域であるプラズマ/シース領域から高速に輸送させるために重要なベラメータを明らかにした。
2.パルス放電で作製したナノ粒子は、7cm/s程度の速度で放電領域から放射状に輸送される。一方パルス放電を振幅変調することで、輸送速度は60cm/s程度まで急速に輸送されることが明らかになった。
3.高速輸送は変調時間、変調度に依存し、長い変調時間、大きい変調度でナノ粒子は高速輸送され,輸送条件を詳細に調べたところ、ナノ粒子は部分帯電であってもナノ粒子全体が輸送されることが明らかになった。
4.高速輸送はイオン抗力によるものであると考えられる。

Report

(2 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2008 2007

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (5 results)

  • [Journal Article] Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing porous ultra-low-k films2008

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • Journal Title

      Journal of Physics: Conference Series (In press)

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitivelly coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage2008

    • Author(s)
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Shinya Iwashita and Syota Nunomura
    • Journal Title

      Faraday Discussions 138

      Pages: 127-127

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] ransport of nano-particles in capacitively coupled rf discharges without and with amplitude modulation of discharge voltage2007

    • Author(s)
      Kazunori Koga, Shinya Iwashita, and Masaharu Shiratani
    • Journal Title

      Journal of Physics D: Applied Physics 40

      Pages: 2267-2271

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Transport of Nano-particles in Amplitude Modulated RF Discharges2007

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • Journal Title

      Transactions of the Materials Research Society of Japan 32

      Pages: 501-504

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Transport of nano-particles after turning off rf discharges2007

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, and Masaharu Shiratani
    • Journal Title

      Proceedings of 18th Internatiolnal Symposium on Plasma Chemistry (CD-ROM)

      Pages: 507-507

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] パルス高周波放電オフ後のナノ粒子輸送2007

    • Author(s)
      岩下 伸也, 守田 道仁, 古閑 一憲, 布村 正太, 白谷 正治, 森貞 佳紀, 松木 信雄, 池田 慎悟
    • Organizer
      第68回応用物理学会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道工業大学
    • Year and Date
      2007-09-04
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Transport of nano-particles in amplitude modulated RF discharges2007

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga and Masaharu Shiratani
    • Organizer
      18th International Symposium on Plasma Chemistry
    • Place of Presentation
      京都大学
    • Year and Date
      2007-08-26
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Rapid transport of nano-particles having a fractional elemental charge on average in capacitivelly coupled rf discharges by amplitude modulating discharge voltage(Invited talk)2007

    • Author(s)
      Masaharu Shiratani, Kazunori Koga, Shinya Iwashita and Syota Nunomura
    • Organizer
      Faraday Discussion 137: The spectroscopy and dynamics of microparticles
    • Place of Presentation
      University of Bristol, UK
    • Year and Date
      2007-07-02
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Rapid transport of nano-particles in amplitude modulated rf discharges for depositing ultra low-k porous films2007

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Michihito Morita, Kazunori Koga, Shota Nunomura, Masaharu Shiratani
    • Organizer
      IVC-17/ICSS-13/ICN+T2007
    • Place of Presentation
      Stockholm International Fairs, Stockholm, Sweden
    • Year and Date
      2007-07-02
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Control of transport of nano-particles using pulsed rf discharges with amplitude modulation and its application to porous low-k film deposition2007

    • Author(s)
      Shinya Iwashita, Kazunori Koga Shota Nunomura, Masaharu Shiratani, Yoshinori Morisada, Nobuo Matsuki, Shingo Ikeda
    • Organizer
      20th Symposium on Plasma Science for Materials
    • Place of Presentation
      名古屋大学
    • Year and Date
      2007-06-21
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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