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チューブの中のプラズマプロセス診断技術と膜堆積技術の創製によるチューブの高機能化

Research Project

Project/Area Number 18740354
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Plasma science
Research InstitutionNagasaki University

Principal Investigator

篠原 正典  Nagasaki University, 工学部, 助教 (80346931)

Project Period (FY) 2006 – 2007
Project Status Completed (Fiscal Year 2007)
Budget Amount *help
¥3,500,000 (Direct Cost: ¥3,500,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,300,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,200,000 (Direct Cost: ¥2,200,000)
Keywordsプラズマ / 赤外分光 / アモルファス炭素膜 / プラズマ診断 / 成長機構 / 薄膜堆積 / 炭素薄膜
Research Abstract

我々の生活を安全・安心で快適なものにしていくことが人間の究極の課題である。21世紀はバイオ分子の力をいかに使いこなすかが勝負となる。それゆえ、バイオ分子の機能を最大限に引き出すために固体表面にバイオ分子を固定化することが重要であり、様々な方法が提案されてきた。研究代表者は以下の方法を提案している。無機と有機の中間の性質を持つアモルファス炭素炭素薄膜を密着性よく基板に堆積する。炭素膜堆積反応を制御して炭素膜表面はバイオ分子との反応性を高い表面層を形成し、バイオ分子の修飾をしやすくする法である。この方法は大量生産を踏まえた工業的にも最適であると考えられる。さらに、柔軟性のあるバイオ分子を柔軟性のある高分子フィルム上に、固定化できれば柔軟性を必要とする箇所に使うことができ、その応用範囲は一段と拡大する。しかし、高分子フィルムは融点が低いという問題点もあり、結局のところ、炭素膜堆積プロセスの確立が第一に必要である。そこで、本研究では、アモルファス炭素膜の堆積プロセスの確立および高分子フィルム・高分子チューブ内への膜堆積が可能なプロセスの確立を目指した。この研究の結果、プラズマで生成された化学種が吸着し膜となっていくアモルファス炭素膜の成膜機構の一端を明らかにすることができ、今後の研究に大きな道標を与えることができた。次に、管内にアモルファス炭素膜を堆積させ、その堆積過程を制御するために、その計測法として多重表面反射赤外分光法を提案し、管内の物質を赤外分光法で計測することに成功した。新たな計測方法を確立でき、今後の研究全般の進展に寄与できた。

Report

(2 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2007 2006 Other

All Journal Article (9 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (1 results)

  • [Journal Article] Investigation of evolution hydrocarbon species on a Si surface during methane plasma with and without substrate bias, using infrared spectroscopy in multiple internal reflection geometry2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Applied Surface Science 253

      Pages: 6242-6247

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Transaction of the Materials Research Society of Japan 32

      Pages: 473-476

    • NAID

      130007922828

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Interaction of hydrogen plasma with hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Thin Solid Films (In press)

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Transaction of MRS-J (In press)

    • NAID

      130007922828

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Effects of hydrogen plasma treatment on amorphous carbon films2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Proceedings of the 24t^<th> Symposium on Plasma Processing

      Pages: 261-262

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Dependence of adsorption of hydrocarbon species generated in a methane plasma on substrate temperatures2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Proceedings of the 24^<th> Symposium on Plasma Processing

      Pages: 397-398

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Interaction of Hydrogen Plasma with Hydrocarbon Species2006

    • Author(s)
      H.Shibata
    • Journal Title

      Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

      Pages: 188-188

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Effects of Substrate Temperatures on Adsorption of Hydrocarbon Species Generated in Methane Plasma2006

    • Author(s)
      M.Shinohara
    • Journal Title

      Proceedings of the 17^<th> symposium of the Materials Research Society of Japan

      Pages: 189-189

    • NAID

      130007922828

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] Interaction between hydrogen plasma and hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Journal Title

      Thin Solid Films (In press)

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] Investigation of Interaction between Hydrogen Plasma and Amorphous Carbon Films2007

    • Author(s)
      Masanori Shinohara
    • Organizer
      International Conference of Advanced Materials and Devices
    • Place of Presentation
      Ramada Plaza Jeju Hotel, Jeju, Korea
    • Year and Date
      2007-12-14
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

URL: 

Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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