A study on monolithic vibrational gyrosensor to detect triaxial angular velocities

• Project/Area Number: 18760050
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Applied physics, general
• Research Institution: Yamagata University
• Principal Investigator: TAMURA Hideki Yamagata University, 大学院・理工学研究科, 助教 (90396581)
• Project Period (FY): 2006 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2008: ¥1,170,000 (Direct Cost: ¥900,000、Indirect Cost: ¥270,000); Fiscal Year 2007: ¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000); Fiscal Year 2006: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
• Keywords: ジャイロセンサ / 圧電 / 3軸角速度 / 多軸ジャイロ / 水晶 / モノリシック振動子 / 超音波 / 振動デバイス

Research Abstract

組込用途などの小形で低コストな回転角速度センサの利用と要求が広がっており、振動型ジャイロセンサは最も有望なタイプであるが、通常は一つのデバイスで一つ無いし二つの回転軸しか検出出来ない。小形化アプローチとして一つのモノリシック振動デバイスにおいて三軸全ての回転角速度が検出されれば有用である。本研究ではフォトリソグラフィならびにエッチング加工で量産可能な水晶Z板より得られる単一振動子を用いて三軸ジャイロ実現の可能性を示した。

Research Products

• [Journal Article] Basic Study of Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2007)
  • Author(s): T. Soneda, H. Tamura, Y. Tomikawa and S. Hirose
  • Journal Title: Jpn. J. Appl. Phys., No.7B Vol.467 Pages: 4709-4713
  • NAID: 110004823165
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 振動ジャイロセンサの基礎と三軸検出デバイスの概要 (2007)
  • Author(s): 田村英樹
  • Journal Title: MATERIAL STAGE Vol.7 No.7 Pages: 4-8
• [Journal Article] Basic Study of Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2007)
  • Author(s): T., Soneda, H., Tamura, Y., Tomikawa, S., Hirose
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics No.7B, Vol.46 Pages: 4709-4713
  • NAID: 110004823165
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 振動ジャイロセンサの基礎と三軸検出デバイスの概要 (2007)
  • Author(s): 田村, 英樹
  • Journal Title: MATERIAL STAGE Vol.7,No.7 Pages: 4-8
• [Journal Article] 三軸ジャイロのための三回対称形水晶振動子の検討 (2006)
  • Author(s): 田村英樹, 曽根田敏昭, 富川義朗, 広瀬精二
  • Journal Title: 電子情報通信学会技術研究報告[超音波] Vol.106 No.250 Pages: 31-36
  • NAID: 110004823165
• [Journal Article] 三軸ジャイロのための三回対称形水晶振動子の検討 (2006)
  • Author(s): 田村英樹, 曽根田敏昭, 富川義朗, 広瀬精二
  • Journal Title: 電子情報通信学会技術研究報告[超音波] US2006-41 Pages: 31-36
  • NAID: 110004823165
• [Journal Article] 三軸ジャイロ用の三回対称形水晶振動子に関する基礎的検討 (2006)
  • Author(s): 田村 英樹, 曽根田 敏昭, 富川 義朗, 広瀬 精二
  • Journal Title: 日本音響学会講演論文集 2006秋期 Pages: 977-978
• [Journal Article] Basic Study On a Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2006)
  • Author(s): T.Soneda, H.Tamura, Y.Tomikawa, S.Hirose
  • Journal Title: 第27回 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム P2-36 Pages: 279-280
  • NAID: 110004823165
• [Presentation] 圧電振動ジャイロセンサの振動結合評価に関する解析の一手法 (2009)
  • Author(s): 田村英樹
  • Organizer: 日本音響学会2009年春季研究発表会
  • Place of Presentation: 東京工業大学
  • Year and Date: 2009-03-17
• [Presentation] 三回対称形水晶三軸ジャイロにおける検出信号処理方法の検討 (2008)
  • Author(s): 曽根田敏昭, 田村英樹, 広瀬精二
  • Organizer: 日本音響学会2008年春季研究発表会
  • Place of Presentation: 千葉工業大学
  • Year and Date: 2008-03-18
• [Presentation] 三回対称形水晶三軸ジャイロにおける検出信号処理方法の検討 (2008)
  • Author(s): 曽根田敏昭・田村英樹・広瀬精ニ
  • Organizer: 日本音響学会春季大会
  • Place of Presentation: 芝浦工業大学
  • Year and Date: 2008-03-14
• [Presentation] Basic Study on a Threefold Rotatory Symmetric Form Quartz Vibrator for Triaxial Gyrosensor (2006)
  • Author(s): T. Soneda, H. Tamura, Y. Tomikawa and S. Hirose
  • Organizer: 第27回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議場
  • Year and Date: 2006-11-16
• [Presentation] 三軸ジャイロ用の三回対称形水晶振動子に関する基礎的検討 (2006)
  • Author(s): 田村英樹, 曽根田敏昭, 富川義朗, 広瀬精二
  • Organizer: 日本音響学会2006年秋季研究発表会
  • Place of Presentation: 金沢大学
  • Year and Date: 2006-09-13
• [Book] 第17章: 振動ジャイロセンサ(新しいセンサの上手な使い方・選び方) (2008)
  • Author(s): 田村英樹
  • Publisher: (株)技術情報協会
• [Book] 新しいセンサの上手な使い方・選び方-第17章振動ジャイロセンサ- (2008)
  • Author(s): (分担共著)田村英樹(第17章)
  • Publisher: (株)技術情報協会