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極薄な液晶基板ガラスのレーザスクライブ割断

Research Project

Project/Area Number 18760086
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Materials/Mechanics of materials
Research InstitutionNagasaki University

Principal Investigator

本村 文孝  Nagasaki University, 工学部, 助手 (40274625)

Project Period (FY) 2006 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2007)
Budget Amount *help
¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
Fiscal Year 2007: ¥400,000 (Direct Cost: ¥400,000)
Fiscal Year 2006: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Keywordsレーザスクライブ / ミスト冷却 / 有限要素法 / 熱応力割断 / 液晶基板ガラス / 応力拡大係数 / 仮想き裂閉口積分法 / 表面き裂 / 光干渉法 / ディジタル画像処理 / 破壊靱性値
Research Abstract

板厚0.4mmのホウケイ酸ガラスを試料としたミスト冷却と炭酸ガスレーザによる熱応力割断実験と有限要素解析をおこない,冷却を併用した熱応力割断メカニズムの解明に努めた.ガラス平板の炭酸ガスレーザの吸収特性は表面吸熱であり,加熱面表面に急峻な温度上昇が起こる.この温度上昇域近傍を同時かつ連続的にミスト冷却するとミスト噴霧領域には高い引張応力が生じるので,この引張応力が作用する領域内に,割れ目(以降,き裂)が存在すれば,き裂は連続的に進展しガラス等の脆性材料の割断が可能となる.き裂生成において,支配的なパラメータとして加熱源と冷却源の相対距離があり,生成可能なき裂の板厚方向形態が異なる.加熱源と冷却源の距離が近接側にて表面き裂が生成され,遠方側にて貫通き裂となるといえる.また加熱方法の影響因子として,移動速度,加熱源形状,加熱密度が上げられ,この4つのパラメータをうまく組み合わせることで,所望のき裂生成が可能となる.またミスト冷却による冷却熱伝達の評価方法として,非定常熱伝導解析の逆解析手法の他,ミスト冷却を併用した比較的低速の貫通き裂生成実験と有限要素解析を組み合わせた生成系シミュレーション手法により,冷却熱伝達の定量評価が可能となっている.ミスト冷却を併用した熱応力割断の加工条件の推定法として,有限要素法に破壊力学を適用した熱応力解析プログラムを構築した.最後に,現状で接触式加工法にて分断不可能な板厚50μmの超極薄ガラスの割断が嘱望されており,冷却を併用した熱応力割断は益々優位となるだろう.

Report

(2 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2008 2007 2006

All Journal Article (5 results) Presentation (7 results)

  • [Journal Article] 熱応力により進展するき裂の交差の可能性2007

    • Author(s)
      柴田清司, 今井康文, 才本明秀, 本村文孝
    • Journal Title

      第60期日本機械学会九州支部講演論文集

      Pages: 51-51

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 移動する加熱・冷却源によるき裂の進展挙動2007

    • Author(s)
      大村太一, 今井康文, 才本明秀, 本村文孝
    • Journal Title

      第60期日本機械学会九州支部講演論文集

      Pages: 53-53

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] ミスト冷却とレーザ加熱を併用した薄板ガラスの熱応力割断2007

    • Author(s)
      本村文孝, 今井康文, 才本明秀
    • Journal Title

      第44回日本伝熱シンポジウム講演論文集

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 熱応力割断における安定き裂進展中の応力拡大係数の評価2006

    • Author(s)
      本村文孝, 今井康文, 才本明秀
    • Journal Title

      日本機械学会2006年度年次大会講演論文集

      Pages: 71-71

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 液晶基板ガラスのレーザ割断における照射条件の影響2006

    • Author(s)
      本村文孝, 今井康文, 才本明秀
    • Journal Title

      精密工学会九州支部福岡地方講演会講演論文集

      Pages: 79-79

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力による破壊のぜい性材料加工への応用2008

    • Author(s)
      今井康文
    • Organizer
      日本材料学会 第125回破壊力学部門委員会
    • Place of Presentation
      九州大学応用力学研究所
    • Year and Date
      2008-03-27
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力割断における冷却による表面き裂の生成2008

    • Author(s)
      本村文孝
    • Organizer
      日本機械学会 第61期九州支部講演論文集
    • Place of Presentation
      九州大学工学部
    • Year and Date
      2008-03-19
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力割断におけるき裂の交差進展の動的解析2008

    • Author(s)
      楠田朋之
    • Organizer
      日本機械学会 第61期九州支部講演論文集
    • Place of Presentation
      九州大学工学部
    • Year and Date
      2008-03-19
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力割断におけるき裂進展経路の制御法の研究2008

    • Author(s)
      中島晃
    • Organizer
      日本機械学会 第61期九州支部講演論文集
    • Place of Presentation
      九州大学工学部
    • Year and Date
      2008-03-19
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力割断における最適な加工条件の推定2007

    • Author(s)
      本村文孝
    • Organizer
      精密工学会 2007年度九州支部「長崎地方講演会」
    • Place of Presentation
      長崎大学工学部
    • Year and Date
      2007-12-08
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力による脆性材料の割断メカニズム2007

    • Author(s)
      本村文孝
    • Organizer
      レーザー学会 第367回研究会報告
    • Place of Presentation
      名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー
    • Year and Date
      2007-11-21
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      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 熱応力割断による縁切落し加工におけるき裂進展経路の制御2007

    • Author(s)
      本村文孝
    • Organizer
      精密工学会 2007年度秋季大会学術講演会
    • Place of Presentation
      北海道旭川市ときわ市民ホール
    • Year and Date
      2007-09-13
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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