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プローブ型データ記録装置への応用を目指す超高性能MEMS静電インチワームモータ

Research Project

Project/Area Number 18810010
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Microdevices/Nanodevices
Research InstitutionThe University of Tokyo

Principal Investigator

SARAJLIC Edin  The University of Tokyo, 生産技術研究所, 特定プロジェクト研究員 (50431820)

Project Period (FY) 2006 – 2007
Project Status Completed (Fiscal Year 2007)
Budget Amount *help
¥2,780,000 (Direct Cost: ¥2,780,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,390,000 (Direct Cost: ¥1,390,000)
Fiscal Year 2006: ¥1,390,000 (Direct Cost: ¥1,390,000)
Keywordsマイクロマシン / マイクロアクチュエータ / 微小位置決め / データ記録装置 / シリコン / 尺取虫駆動 / マイクロマシニング / 垂直トレンチ分離
Research Abstract

このプロジェクトの目的は、データ記憶装置のための高性能な静電ステッピング・モータを開発することである。これらの装置には、「データ保存のための探針位置決め」と「ハードディスクドライブのトラッキング機構」も含まれる。
私たちはマイクロ静電機械を用いて12bitのデジタル、アナログ変換機(12-bit MEMDAC)を製作しテストした。[J1,C1]。そして直線[C4]もしくは回転[C5]運動をする、静電3相ステッピング・モータを試作した。これらのモータにより、データ保存容量と記憶装置の性能向上が期待できる。従来のモータと比較して、このマイクロモータには以下の利点がある。(1)Open-loopで操作が可能、(2)電圧のインプットノイズに影響されない、(3)出力変位が再現可能な点である。
マイクロモータを現実的に作製できるかどうかは、その微細加工が可能かどうかに強く依存している。そのために私たちは新しい作製手法を開発し、実行した[J2,J3,C2,C3,C4]。これらの開発した方法と、垂直溝による分離[C4]、HAREM [J3,C2]により、マイクロモータの駆動部と固定部の作動部品同士を、適切に絶縁ができるようになった。洗練されたこの電気的絶縁法は、全く新しい種類のマイクロシステムを可能にすると同時に、設計を容易にし、現存するモータの性能をさらに向上させることができる。

Report

(2 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • 2006 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (5 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (5 results)

  • [Journal Article] HAREM: High Aspect Ratio Etching and Metallization for microsystems fabrication2008

    • Author(s)
      Edin Sarajlic, Christophe Yamahata, Mauricio Cordero, D. Collard, Hiroyuki Fujita
    • Journal Title

      Journal of Micromechanics and Micoreng ineering (印刷中)掲載確定

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement2007

    • Author(s)
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
    • Journal Title

      Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2(3)

      Pages: 357-364

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Towards wet anisotropic silicon etching of perfect pyramid al pits2007

    • Author(s)
      E. Sarajlic, C. Yamahata and H. Fujita
    • Journal Title

      Microelectronic Engineering 84(5-8)

      Pages: 1419-1422

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 12-Bit Microelectromechanical Digital-to-Analog Converter of Displacement2007

    • Author(s)
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita
    • Journal Title

      20th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2007) (Kobe, Japan)

      Pages: 679-682

    • Related Report
      2006 Annual Research Report
  • [Journal Article] 2007 Design and Modeling of Compliant Mechanism for Mechanical Digital-to-Analog Conversion of Displacement2007

    • Author(s)
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita
    • Journal Title

      Transaction on Electrical and Electronic Engineering 2007 (IEEJ Trans 2007) 2

      Pages: 1-8

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      2006 Annual Research Report
  • [Presentation] Electrostatic 3-phase rotary stepper motor for hard-disk drives2009

    • Author(s)
      Edin Sarajlic, C. Yamahata and Hiroyuki Fujita
    • Organizer
      22nd IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2009)
    • Place of Presentation
      Sorrento, Italy
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  • [Presentation] Towards wet anisotropic silicon etching of perfect pyramidal pits2008

    • Author(s)
      E. Sarajlic, C. Yamahata and H. Fujita
    • Organizer
      32nd Int. Conf. on Micro-and Nano-Engineering(MNE 2008)
    • Place of Presentation
      Barcelona, Spain
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      Edin Sarajlic, Christophe Yamahata and Hiroyuki Fujita
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      Aachen, Germany
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      Edin Sarajlic, C. Yamahata, Mauricio Cordero, Dominique Collard and Hiroyuki Fujita
    • Organizer
      21th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Sysems (MEMS 2008)
    • Place of Presentation
      Tucson, USA
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    • Author(s)
      Edin Sarajlic, Dominique Collard, Hiroshi Toshiyoshi and Hiroyuki Fujita
    • Organizer
      20th IEEE Int. Conf. on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)
    • Place of Presentation
      Kobe, Japan
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2006-04-01   Modified: 2016-04-21  

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