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Work function measurements of printed silver electrode for control of metal/semiconductor contact performance

Research Project

Project/Area Number 18K14131
Research Category

Grant-in-Aid for Early-Career Scientists

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section Basic Section 29020:Thin film/surface and interfacial physical properties-related
Research InstitutionOsaka Research Institute of Industrial Science and Technology

Principal Investigator

Masashi Saitoh  地方独立行政法人大阪産業技術研究所, 森之宮センター, 主任研究員 (70611317)

Project Period (FY) 2018-04-01 – 2023-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2022)
Budget Amount *help
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2021: ¥520,000 (Direct Cost: ¥400,000、Indirect Cost: ¥120,000)
Fiscal Year 2020: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2019: ¥650,000 (Direct Cost: ¥500,000、Indirect Cost: ¥150,000)
Fiscal Year 2018: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
Keywords銀ナノ粒子 / ナノインク / 印刷エレクトロニクス / ショットキーバリアダイオード / 仕事関数 / ケルビンプローブ力顕微鏡 / 銀ナノインク / シリコン基板 / プリンテッドエレクトロニクス / 金属ナノ粒子 / 金属ナノインク / ショットキー接触 / 電極作製 / ケルビンプローブ顕微鏡 / コンタクト制御
Outline of Final Research Achievements

Understanding and engineering of the junctions formed at the contact interface between metallic electrodes and semiconductor materials are key elements in modern electronic devices. Recently, as one of alternative to traditional technology, the printed electronics has been emerged for making the practical devices using conductive inks. However, despite much effort over the decades, the junctions formed at the contact between a printed electrode and a semiconductor remains a crucial challenge. In this study, the fabrication of the Schottky barrier diode with the silver nanoparticulate electrode was demonstrated, where the silver electrode was formed through the printing of the silver nanoink on p-type silicon. For understanding of the interface between silver electrode and p-type silicon, I-V measurements, SEM and Kelvin probe force microscopy measurements were demonstrated to investigate the possible mechanism of the increment of the Schottky barrier height in the diodes.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

本研究成果の学術的意義は、印刷エレクトロニクスを用いてダイオードを作製し、その特性評価を行う中で、ナノインクから作製した金属電極の仕事関数がバルク金属と異なる値を有していることを明らかにした点にある。また、産業界で注目されている印刷エレクトロニクス技術の実用化に向けて、印刷エレクトロニクスで作製したデバイスの評価方法を確立した点は、材料メーカーと装置関連メーカー、研究機関も交えた連携を加速させ、印刷エレクトロニクスを基盤技術とした新たな研究展開につながる点で社会体意義がある。

Report

(6 results)
  • 2022 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2021 Research-status Report
  • 2020 Research-status Report
  • 2019 Research-status Report
  • 2018 Research-status Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2023 2019 2018

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 1 results) Presentation (7 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results)

  • [Journal Article] Agナノインクを用いて作製したAg/Siショットキー接触:焼成条件が電気特性に及ぼす影響2019

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Journal Title

      第29回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

      Volume: 58 Pages: 75-78

    • NAID

      40022301476

    • Related Report
      2019 Research-status Report
  • [Journal Article] 静的光散乱法によるナノスケール構造解析-ナノ材料の“大きさ”や“形”を評価する2019

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Journal Title

      科学と工業

      Volume: 93 Pages: 329-334

    • NAID

      40022022846

    • Related Report
      2019 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Agナノインクを用いたSiウエハ上への電極形成: Ag/Siショットキー接触の評価2018

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Journal Title

      第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集

      Volume: 57 Pages: 371374-371374

    • NAID

      130007731167

    • Related Report
      2018 Research-status Report
  • [Presentation] Agナノインクより作製したAg/Siショットキーバリアダイオード: 焼成条件がダイオード特性に及ぼす影響2023

    • Author(s)
      斉藤大志、玉井聡行
    • Organizer
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2022 Annual Research Report
  • [Presentation] Agナノインクを用いて作製したAg/Siショットキー接触: 焼成条件が電気特性に及ぼす影響2019

    • Author(s)
      斉藤大志, 柏木行康, 玉井聡行
    • Organizer
      第29回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • Related Report
      2019 Research-status Report
  • [Presentation] ポリビニルピロリドン被覆銀ナノ粒子におけるラマンスペクトルの時間変動解析2019

    • Author(s)
      斉藤大志, 柏木行康, 玉井聡行
    • Organizer
      分子科学討論会
    • Related Report
      2019 Research-status Report
  • [Presentation] Time-series Analysis of Raman Spectra for Deducing the Adsorption Geometry of Poly(vinylpyrrolidone) Capping on Silver Nanoparticle2019

    • Author(s)
      斉藤大志, 玉井聡行
    • Organizer
      沖縄コロイド2019
    • Related Report
      2019 Research-status Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Agナノインクを用いたSiウエハ上への電極形成: Ag/Siショットキー接触の評価2018

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Organizer
      第28回マイクロエレクトロニクスシンポジウム
    • Related Report
      2018 Research-status Report
  • [Presentation] ポリビニルピロリドン被覆銀ナノ粒子のラマン分光分析2018

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Organizer
      第12回分子科学討論会
    • Related Report
      2018 Research-status Report
  • [Presentation] ポリビニルピロリドン被覆銀ナノ粒子分散液のレオロジー特性2018

    • Author(s)
      斉藤大志、柏木行康、玉井聡行
    • Organizer
      第66回レオロジー討論会
    • Related Report
      2018 Research-status Report

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Published: 2018-04-23   Modified: 2024-01-30  

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