A Newly Developed of Advanced Nano-pattern Generator with Large Work Area (ANGEL) and Investigation on the Nano-machinability
| Project/Area Number |
19206017
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
SHINNO Hidenori Tokyo Institute of Technology, 精密工学研究所, 教授 (40196639)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
YOSHIOKA Hayato 東京工業大学, 精密工学研究所, 准教授 (90361758)
SAWANO Hiroshi 東京工業大学, 精密工学研究所, 助教 (40514295)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥48,490,000 (Direct Cost: ¥37,300,000、Indirect Cost: ¥11,190,000)
Fiscal Year 2008: ¥28,210,000 (Direct Cost: ¥21,700,000、Indirect Cost: ¥6,510,000)
Fiscal Year 2007: ¥20,280,000 (Direct Cost: ¥15,600,000、Indirect Cost: ¥4,680,000)
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| Keywords | マザーマシン / ナノ加工 / ナノ加工特性 / ナノモーション制御 / 微細形状創成 / 超精密加工システム / ナノ位置決め / 多軸同時制御 / ナノパターン / ナノメートル位置決め / 超精密加工 / 高安定構造 / 超微細加工 / ナノ運動制御 |
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| Research Abstract |
本研究では先端科学技術分野で重要となる広領域を対象とする超精密加工を実現するため,広域ナノパターンジェネレータ(ANGEL) と称する超精密加工システムの開発を行なっている.システムを構成する機構部,センサ部,制御部などの各構成要素は,理想的な構造を実現するために新たに開発したものである.開発した加工システムの性能評価を行なった結果,加工対象表面に所要のナノメートルオーダの微細加工を実現可能であることを確認している.
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Report
(3 results)
Research Products
(42 results)
