| Project/Area Number |
19360016
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Thin film/Surface and interfacial physical properties
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| Research Institution | Tokyo University of Agriculture and Technology |
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Principal Investigator |
MOTOHASHI Kenji Tokyo University of Agriculture and Technology, 大学院・共生科学技術研究院, 助教 (50251583)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
KANAI Yasuyuki 独立行政法人理化学研究所, 山崎原子物理研究室, 先任研究員 (00177487)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
KANAI Yasuyuki 独立行政法人理化学研究所, 山崎原子物理研究室, 先任研究員 (00177487)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥12,480,000 (Direct Cost: ¥9,600,000、Indirect Cost: ¥2,880,000)
Fiscal Year 2008: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2007: ¥8,320,000 (Direct Cost: ¥6,400,000、Indirect Cost: ¥1,920,000)
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| Keywords | ビーム応用 / 多価イオン / 表面分析 / 二次イオン質量分析 / 電子捕獲散乱 / 原子層選別 / 同時計測 / 二次電子 / 水素原子 / 面極性 |
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| Research Abstract |
表面の原子層を選別しながら、表面構成原子の種類を高感度に特定できる表面分析法(表面化学分析法)を実現するため、多価イオンを用いた散乱粒子・二次粒子同時測定装置を開発した。多価イオンの持つ反応性の高さと状態選択性の高さを利用することにより、極めて少ない入射イオン量でありながら、表面第1層と第2層を区別しながら表面原子の種類を特定することに成功した。
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