| Project/Area Number |
19360066
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Section | 一般 |
|---|
| Research Field |
Production engineering/Processing studies
|
|---|
| Research Institution | Osaka University |
|---|
Principal Investigator |
KATAOKA Toshihiko Osaka University, 大学院・工学研究科, 教授 (50029328)
|
|---|
| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
NAKANO Motohiro 大阪大学, 大学院・工学研究科, 准教授 (40164256)
INOUE Haruyuki 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (30304009)
OSHIKANE Yasushi 大阪大学, 大学院・工学研究科, 助教 (40263206)
|
|---|
| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
MATSUURA Toshiaki 大阪大学, 大学院・工学研究科, リサーチアシスタント (60525145)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2007 – 2008
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
|
| Budget Amount *help |
¥20,410,000 (Direct Cost: ¥15,700,000、Indirect Cost: ¥4,710,000)
Fiscal Year 2008: ¥4,810,000 (Direct Cost: ¥3,700,000、Indirect Cost: ¥1,110,000)
Fiscal Year 2007: ¥15,600,000 (Direct Cost: ¥12,000,000、Indirect Cost: ¥3,600,000)
|
|---|
| Keywords | 点光源回折干渉計 / point diffraction interferometer / 位相シフト干渉計 / phase-shifting interferometer / デジタルホログラフ / Helmholtz-Kirchhoffの積分定理 / シングルモード光ファイバ / 表面形状計測 / デジタルホログラフィー / ガラスレスCCDカメラ / 非球面形状計測 / 放物面計測 |
|---|
| Research Abstract |
光ファイバが発する回折球面波を計測基準とする位相シフト点光源回折干渉計を開発し, 計測精度の向上に関する研究の結果,直径200mm, 曲率半径1500mmの凹面ミラーの形状計測の連続実施における再現性としてrms0.11nmを達成した。同ミラーの約90度の回転前後の計測結果もrms0.85nmで一致した。回転放物面ミラーの焦点から回折球面波を出射させて, ミラー形状の不完全性によって生じた非平面度を計測し, 非球面ミラーの絶対形状計測が本装置によって可能であることを実証した。
|
