3-D micro-structure measurement method based on moire-topography using SEM
| Project/Area Number |
19360123
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Intelligent mechanics/Mechanical systems
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| Research Institution | Kansai University |
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Principal Investigator |
ARAI Yasuhiko Kansai University, システム理工学部, 教授 (80131415)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
多川 則男 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
青柳 誠司 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
TAGAWA Norio 関西大学, システム理工学部, 教授 (50298840)
AOYAGI Seiji 関西大学, システム理工学部, 教授 (30202493)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥19,890,000 (Direct Cost: ¥15,300,000、Indirect Cost: ¥4,590,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2007: ¥18,460,000 (Direct Cost: ¥14,200,000、Indirect Cost: ¥4,260,000)
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| Keywords | SEM / モアレトポグラフィ / MEMS / 縞解析 / 微小構造物 / 三次元形状計測 / モアレトポグラフィー / 格子 / シリコンプロセス |
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| Research Abstract |
ナノテクノロジーにおける定量的な三次元形状評価を実現し, 微小構造物の定量的三次元形状計測が困難な現状を打開することのできる新しい計測技術を開発した. 具体的には,モアレトポグラフィの光源を光から電子線へ改めることによって, 数μm の構造物を数10nm の測定精度で形状計測可能な非接触三次元形状計測技術を補助金申請書に記した計画どうりに開発した.
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Report
(3 results)
Research Products
(14 results)
