Function Control of Miniature Products by Micro Electrical Discharge Machining

• Project/Area Number: 19360327
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Material processing/treatments
• Research Institution: The University of Tokyo
• Principal Investigator: MOHRI Naotake The University of Tokyo, 大学院・工学系研究科, 教授 (90126186)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥20,280,000 (Direct Cost: ¥15,600,000、Indirect Cost: ¥4,680,000); Fiscal Year 2008: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000); Fiscal Year 2007: ¥12,870,000 (Direct Cost: ¥9,900,000、Indirect Cost: ¥2,970,000)
• Keywords: 放電加工 / マイクロ放電加工 / 気中放電加工 / ピーリング電極 / 放電発光現象 / ペルチュ素子 / バイメタル / カンチレバー / ペルチェ素子

Research Abstract

微小機械の製造において、リソグラフィを対象とした従来の加工材料の制約を打破するために、放電加工法をマイクロ形状創成加工に適用してその可能性を検討した。このためにピエゾ駆動を用いた高応答・高分解能型の放電微細加工装置を開発した.放電加工環境を適宜選択して,スリット中心追跡制御方式による微小工具あるいは機能性微小部品の実現を図った.これにより、金属、セラミックス、磁性体を対象としたマイクロ加工の可能性を示し、その効果を確認した。

Research Products

• [Journal Article] InternationalJournal of Automation Technology (2008)
  • Author(s): Hideaki Takezawa,Naotake Mohri, Kouhei Asano, Yasunori Kodama
  • Journal Title: Development of Micro Electrical Discharge Machine Pages: 124-130
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ワイヤ工具を用いた複合加工機の開発 (2008)
  • Author(s): 平尾篤利、谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • Journal Title: 電気加工学会誌 Pages: 130-136
  • NAID: 10024484786
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 絶縁性Si3N4 セラミックスワイヤ放電加工特性-導電性被膜の形態と加工特性との関係 (2008)
  • Author(s): 係谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • Journal Title: 電気加工学会誌 Pages: 137-144
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] International Journal of Automation Technology (2008)
  • Author(s): Hideki Takezawa,Naotake Mohri, Kouhei Asano, Yasunori =
  • Journal Title: Development of Micro Electrical Discharge Machine Vol.2 Pages: 124-130
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] ワイヤ工具を用いた複合加工機の開発 (2008)
  • Author(s): 平尾篤利、谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • Journal Title: 電気加工学会誌 42 Pages: 130-136
  • NAID: 10024484786
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 絶縁性Si3N4セラミックスワイヤ放電加工特性-導電性被膜の形態と加工特性との関係 (2008)
  • Author(s): 谷貴幸、後藤啓光、毛利尚武
  • Journal Title: 電気加工学会誌 42 Pages: 137-144
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A Study on Single Discharge Machining with Low Melting Temperature Alloy (2007)
  • Author(s): Hideki Takezawa, Hirotaka Kokubo, Naotake Mohri, Kenichiro Horio, Daisuke Yanagida, Nagao Saito
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) Pages: 69-73
  • NAID: 110004071711
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Effect of Discharge Current on the Occurrence Time of Cavitations (2007)
  • Author(s): Yoshiaki Akematsu, Kazuro Kageyama, Naotake Mohri, Hideaki Murayama
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) Pages: 105-109
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] On the Machine Slicing System with a Tool Wire for 3D Observation (2007)
  • Author(s): Atsutoshi Hirao, Naotake Mohri, Takayuki Tani, Hiroshi Sakuta
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) Pages: 159-163
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Machining of Insulating Materials by EDM with Micro-Pin Electrode (2007)
  • Author(s): Takayuki Tani, Naotake Mohri, Hiromitsu Gotoh, Haruo Sai, Masaaki Okada
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) Pages: 257-261
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 大電流単発放電における微細軸形成現象の時間分析観察とその形成ダイナミクス (2007)
  • Author(s): 田辺里枝、伊藤義郎、毛利尚武
  • Journal Title: 精密工学会誌 Pages: 682-687
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 放電複合加工における超音波付与効果とその実用化 (2007)
  • Author(s): 平尾篤利、谷 貴幸、毛利尚武、齋藤長男
  • Journal Title: 精密工学会誌 Pages: 781-785
  • NAID: 110006342944
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] A Study on Single Discharge Machining with Low Melting Temperature Alloy (2007)
  • Author(s): Hideki Takezawa, Hirotaka Kokubo, Naotake Mohri, Kenichiro Horio, Daisuke Yanagida, Nagap Saito
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 Pages: 69-73
  • NAID: 110004071711
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Effect of Discharge Current on the Occurrence Time of Caviations (2007)
  • Author(s): Yoshiaki Akematsu, Kazuro Kageyama, Naotake Mohri, Hideaki Murayama
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 7 Pages: 105-109
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] On the Machine Slicing System with a Tool Wire for 3D Observation (2007)
  • Author(s): Atsutoshi Hirao, Naotake Mohri, Takayuki Tani, Hiroshi Sakuta
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 Pages: 159-163
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Machining of Insulating Materials by EDM with Micro-Pin Electrode (2007)
  • Author(s): Takayuki Tani, Naotake Mohri, Hiromitsu Gotoh, Haruo Sai, Masaaki Okada
  • Journal Title: Proceeding of the 15th International Symposium on Electromachining (ISEM XV) 1 Pages: 257-261
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 大電流単発放電における微細軸形成現象の時間分析観察とその形成ダイナミクス (2007)
  • Author(s): 田辺 里枝、伊藤 義郎、毛利 尚武
  • Journal Title: 精密工学会誌 73 Pages: 682-687
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 放電複合加工における超音波付与効果とその実用化 (2007)
  • Author(s): 平尾 篤利、谷 貴幸、毛利 尚武、齋藤 長男
  • Journal Title: 精密工学会誌 73 Pages: 781-785
  • NAID: 110006342944
  • Peer Reviewed
• [Presentation] ピーリング複合工具を用いた微細放電加工-複合異種材料の加工特性- (2008)
  • Author(s): 李珠瓊、毛利尚武、後藤啓光、谷貴幸、武沢英樹、増沢隆久
  • Organizer: 電気加工学会全国大会
  • Place of Presentation: キャンパスイノベーションセンター東京
  • Year and Date: 2008-11-28
• [Presentation] 気中走査放電加工による表面改質 (2008)
  • Author(s): 谷貴幸、後藤啓光、桑原吉英、毛利尚武、齋治男
  • Place of Presentation: キャンパスイノベーションセンター東京
  • Year and Date: 2008-11-28
• [Presentation] Tic 燃結体電極を用いた放電表面改質膜の形成メカニズムに関する一考察 (2008)
  • Author(s): 松川公映、後藤昭弘、齋藤長男、毛利尚武
  • Place of Presentation: キャンパスイノベーションセンター東京
  • Year and Date: 2008-11-28
• [Presentation] Tic燃結体電極を用いた放電表面改質膜の形成メカニズムに関する-考察 (2008)
  • Author(s): 松川公映、後藤昭弘、齋藤長男、毛利尚武
  • Organizer: 電気加工学会全国大会
  • Place of Presentation: キャンパスイノベーションセンター東京
  • Year and Date: 2008-11-28
• [Presentation] 超短パルス放電の観察 (2008)
  • Author(s): 梅田 和彦、毛利 尚武、谷 貴幸、後藤 啓光、平尾 篤利
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2008-03-17
• [Presentation] ピーリング工具を用いた微細加工 (2008)
  • Author(s): 李 珠顔、後藤 啓光、谷 貴幸、武沢 英樹、毛利 尚武、増沢 隆久
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2008-03-17
• [Presentation] SPMによる放電加工表面の観察 (2008)
  • Author(s): 佐久田 昌博、平尾 篤利、谷 貴幸、武沢 英樹、毛利 尚武
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2008-03-17
• [Presentation] バイメタル形成及び熱駆動型バイメタルアクチュエータへの応用研究 (2008)
  • Author(s): 出口 晋典、毛利 尚武、谷貴幸、後藤 啓光
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2008-03-17
• [Presentation] 超短パルス放電の観察 (2007)
  • Author(s): 梅田和彦、毛利尚武、谷 貴幸、後藤啓光、平尾篤利
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2007-03-17
• [Presentation] ピーリング工具を用いた微細加工 (2007)
  • Author(s): 李 珠瓊、後藤啓光、谷貴幸、武沢英樹、毛利尚武、増沢隆久
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2007-03-17
• [Presentation] SPM による放電加工表面の観察 (2007)
  • Author(s): 佐久田昌博、平尾篤利、谷貴幸、武沢英樹、毛利尚武
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2007-03-17
• [Presentation] バイメタル形成及び熱駆動型バイメタルアクチュエータへの応用研究 (2007)
  • Author(s): 山口晋典、毛利尚武、谷貴幸、後藤啓光
  • Organizer: 2008年度精密工学会春季大会
  • Place of Presentation: 明治大学
  • Year and Date: 2007-03-17
• [Patent(Industrial Property Rights)] 微細工具の製造方法及び微細工具の製造装置 (2008)
  • Inventor(s): 毛利尚武、増沢隆久、谷貴幸、後藤
  • Industrial Property Rights Holder: 毛利尚武, 増沢隆久, 谷貴幸, 後藤啓光
  • Industrial Property Number: 2008-049661
  • Filing Date: 2008-02-29