Study on manipulation of micro objects using surface tension of liquid droplets
Project/Area Number |
19510131
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Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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Allocation Type | Single-year Grants |
Section | 一般 |
Research Field |
Microdevices/Nanodevices
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Research Institution | Kogakuin University |
Principal Investigator |
SUZUKI Kenji Kogakuin University, 工学部・機械システム工学科, 准教授 (50251351)
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Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
杉井 康彦 工学院大学, 総合研究所, 准教授 (90345108)
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Project Period (FY) |
2007 – 2008
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Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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Budget Amount *help |
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000)
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Keywords | MEMS / 表面張力 / エレクトロウェッティング / 液滴 / 物体搬送 / マイクロマシン / 撥水性 |
Research Abstract |
本研究は, 電界により基板表面の濡れ性を制御して液滴を輸送する EWOD(Electrowettingon Dielectric)技術と, 撥水面上の液滴の表面張力による荷重支持を組み合わせ, 液滴による微小物体の搬送技術を確立することを目的としている. 平成19年度には, EWOD による液滴輸送の信頼性を向上するため, 加工条件, 電極の形状と配置, 電圧の印加方法などの最適化を行った. また, 液滴により微小物体を回転駆動するモータを製作し, 質量7.7mg, 直径5mmのロータを最大320rpmで回転させることに成功した. さらにEWOD を用いて大きな液滴から小さい液滴を分離する技術を開発した. 平成20 年度は, 輸送中の液滴の挙動を高速度カメラにより撮影し, 液滴の変形と印加電圧, 切り替え周波数などの関係を明らかにした. また, 0度~360度までの傾斜面での液滴輸送に成功し, 液滴の3次元輸送技術を確立した
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Report
(3 results)
Research Products
(26 results)