Soft lithography based on photo-isomerization reaction controlling of hydrogen bonding

• Project/Area Number: 19550184
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Organic industrial materials
• Research Institution: Chiba University
• Principal Investigator: TAKAHARA Shigeru Chiba University, 大学院・融合科学研究科, 准教授 (90272343)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): HOSHINO Katsuyoshi 千葉大学, 大学院・融合科学研究科, 教授 (50192737)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000); Fiscal Year 2008: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000); Fiscal Year 2007: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
• Keywords: レジスト / リソグラフィー / 光パターニング / 光異性化

Research Abstract

ヘモグロビンの代謝物であるビリルビンの光反応を, 工業的な画像複製技術であるリソグラフィープロセスへ応用した。反応活性種の発生しない光異性化反応によってビリルビン分子内の水素結合を解き, これに基づきビリルビン薄膜がほぼ中性の水に近い現像条件など穏やかな条件でポジ型の光パターニングができることを明らかにした。

Research Products

• [Presentation] Photo-patterning of Bilirubin layer (2008)
  • Author(s): Shigeru. Takahara, Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka, Satoki Hashimoto
  • Organizer: XXII IUPAC Symposium on Photochemistry
  • Place of Presentation: Gothenburg, Sweden
• [Presentation] Molecular photo-patterning materials (2007)
  • Author(s): Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka and Shigeru Takahara
  • Organizer: Soft lithography process of Bilirubin layer 2007 International Symposium on Frontier Photoscience
  • Place of Presentation: Gyeongju, Korea
• [Presentation] ビリルビンの光シス-トランス異性化反応によるソフトな光パターニング (2007)
  • Author(s): 高橋篤正, パクチュルホ, 大塚周一, 高原茂
  • Organizer: 光化学討論会
  • Place of Presentation: 松本
• [Presentation] Molecular photo-patterning materials:Soft lithography process of Bilirubin layer (2007)
  • Author(s): Atsumasa Takahashi, Park Chuluho, Syunichi Otsuka, Sgugery Takahara
  • Organizer: 2007 International Symposium on Frontier Photoscience(招待講演発表)
  • Place of Presentation: Gyeongiu,Korea
• [Presentation] ビリルビンの光シスートランス異性化反応によるソフトな光パターニング (2007)
  • Author(s): 高橋 篤正, パクチュルホ, 大塚 周一, 高原 茂
  • Organizer: 光化学討論会
  • Place of Presentation: 信州大学,松本市
• [Presentation] It is possible to make a photo-lithography by photo-isomerization?, Photo-patterning of Bilirubin thin layer (2006)
  • Author(s): Atsumasa Takahashi, Park Chulho, Syuichi Otsuka, Shigeru Takahara
  • Organizer: 2006 International Symposium on Frontier Photoscience
  • Place of Presentation: Seoul, Korea
• [Remarks] 高原茂(招待講演発表者), 生体物質の光シス-トランス異性化反応によるソフトな光パターニング, 千葉大学・科学技術振興機構新技術説明会, 科学技術振興機構JSTホール(東京・市ヶ谷)2007(平成19年3月16日)
  • URL: http://www.takaharalab.tp.chiba-u.jp/
• [Remarks]
  • URL: http://www.takaharalab.tp.chiba-u.jp/
• [Patent(Industrial Property Rights)] 光パターニング材料および光パターン形成方法 (2005)
  • Inventor(s): 高原茂
  • Industrial Property Rights Holder: 千葉大学
  • Industrial Property Number: 2005-211948
  • Filing Date: 2005-07-21