Study on Micro Diamond Tool with High Accuracy

• Project/Area Number: 19560110
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Production engineering/Processing studies
• Research Institution: University of Toyama
• Principal Investigator: TAKANO Noboru University of Toyama, 大学院・理工学研究部(工学), 助手 (60251881)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MORITA Noboru 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 教授 (30239660) ; YAMADA Shigeru 富山大学, 大学院・理工学研究部(工学), 准教授 (00174714)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2008: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000); Fiscal Year 2007: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
• Keywords: 極微細加工 / マイクロダイヤモンド工具 / 高精度化 / ダイヤモンド工具 / 集束イオンビーム / シリコンモールド / ダイヤモンドアレイ工具

Research Abstract

本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。