Development of Fabricating Method of Nanoscale Pit with High Aspect Ratio Using Carbon Nanotube Probe
| Project/Area Number |
19560127
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Production engineering/Processing studies
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| Research Institution | Aichi Institute of Technology |
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Principal Investigator |
MATSUMURO Akihito Aichi Institute of Technology, 工学部, 教授 (80173889)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MAKOTO Takagi 愛知工業大学, 工学部, 教授 (40288428)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
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| Keywords | カーボンナノチューブ探針 / STM加工 / 高アスペクト比加工 / ナノスケール加工 / 高アスペクト比 / 最適条件 / 加工メカニズム / 引き上げ法 / シリコン単結晶 / 凹凸加工 / 金材料 / タングステン探針 |
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| Research Abstract |
ナノデバイスの実現のためナノメートルの加工スケール,精密位置制御, 高アスペクト比(加工深さ/穴径) 加工技術の開発を,カーボンナノチューブ探針を走査型トンネル電子顕微鏡の探針として用いた場合の可能性について検討を行った. 加工深さ286nm, 穴径63nm, アスペクト比4.5の穴加工が実現し, 従来のタングステン探針に対し, 45倍向上した. その加工原理は電解蒸発と考察された.
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Report
(3 results)
Research Products
(9 results)
