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Effects of Surface Roughness on Application of Micro Displacement Characteristics to Nano-positioning

Research Project

Project/Area Number 19560133
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Research Field Design engineering/Machine functional elements/Tribology
Research InstitutionUtsunomiya University

Principal Investigator

KAWAGUCHI Takahisa  Utsunomiya University, 大学院・工学研究科, 助教 (60234043)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 畑沢 鉄三  宇都宮大学, 大学院・工学研究科, 教授 (30114169)
藤本 隆士  弓削商船高専, 電子機械工学科, 教授 (30332076)
Project Period (FY) 2007 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
Fiscal Year 2008: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,730,000 (Direct Cost: ¥2,100,000、Indirect Cost: ¥630,000)
Keywords位置決め / 摩擦 / ナノスケール / 固体表面 / セラミックス / 真実接触面積 / スパッタ薄膜 / SPM
Research Abstract

本研究では, 摩擦を利用した駆動機構として, 接触する二面間に接線力を作用させたときの微小変位特性を利用して, ナノメータオーダの分解能をもつ位置決め機構について検討を行った. その結果, 種々の表面粗さを有する二面間の繰返し微小変位特性を用いた精密送りを分解能1nmで実現できる可能性が得られた.

Report

(3 results)
  • 2008 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2007 Annual Research Report
  • Research Products

    (12 results)

All 2008 2007

All Presentation (12 results)

  • [Presentation] スパッタ薄膜による微細接触部の検出について2008

    • Author(s)
      川口尊久
    • Organizer
      日本機械学会関東支部会
    • Place of Presentation
      栃木県小山市
    • Year and Date
      2008-12-19
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 接線力による固体表面問の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について2008

    • Author(s)
      川口尊久
    • Organizer
      日本機械学会関東支部
    • Place of Presentation
      栃木県小山市
    • Year and Date
      2008-12-19
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 線接触における油膜厚さについて2008

    • Author(s)
      畑沢鉄三
    • Organizer
      日本機械学会関東支部
    • Place of Presentation
      栃木県小山市
    • Year and Date
      2008-12-19
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Tribological Performances of Needle Roller Thrust Bearibgs2008

    • Author(s)
      T. Hatazawa
    • Organizer
      2nd International Conference on Advanced Tribology
    • Place of Presentation
      Singapore
    • Year and Date
      2008-12-03
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Tribological Performances of Needle Roller Thrust Bearibgs2008

    • Author(s)
      T. Hatazawa and T. Kawaguchi
    • Organizer
      2nd International Conference on Advan ced Tribology
    • Place of Presentation
      Singapore
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 接線力による固体表面間の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について2008

    • Author(s)
      川口尊久, 畑沢鉄三, 小林正陽
    • Organizer
      日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
    • Place of Presentation
      (151-152)
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] スパッタ薄膜による微細接触部の検出について2008

    • Author(s)
      川口尊久, 畑沢鉄三, 宇藤要輔
    • Organizer
      日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
    • Place of Presentation
      (149-150)
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 線接触における油膜厚さについて2008

    • Author(s)
      野澤勇樹, 畑沢鉄三, 川口尊久
    • Organizer
      日本機械学会関東支部ブロック合同講演会-'08おやま-講演論文集
    • Place of Presentation
      (161-162)
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] 微小変位特性のナノ位置決めへの応用2007

    • Author(s)
      川口尊久
    • Organizer
      日本トライボロジー学会
    • Place of Presentation
      愛知県名古屋市
    • Year and Date
      2007-09-17
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] スラスト針状ころ軸受の摩擦トルクについて2007

    • Author(s)
      畑沢鉄三
    • Organizer
      精密工学会
    • Place of Presentation
      北海道旭川市
    • Year and Date
      2007-09-14
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 微小変位特性のナノ位置決めへの応用2007

    • Author(s)
      川口尊久, 畑沢鉄三, 中村慧佑
    • Organizer
      日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集
    • Place of Presentation
      (81-82)
    • Related Report
      2008 Final Research Report
  • [Presentation] スラスト針状ころ軸受の摩擦トルクについて2007

    • Author(s)
      畑沢鉄三, 川口尊久
    • Organizer
      2007年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
    • Place of Presentation
      (915-916)
    • Related Report
      2008 Final Research Report

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Published: 2007-04-01   Modified: 2016-04-21  

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