Application of micro/nanotribology to micro fabrication
| Project/Area Number |
19560151
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Design engineering/Machine functional elements/Tribology
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| Research Institution | Aichi Institute of Technology |
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Principal Investigator |
MAKOTO Takagi Aichi Institute of Technology, 工学部, 教授 (40288428)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MATSUMURO Akihito 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000)
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| Keywords | トライボロジー / マイクロ / ナノトライボロジー / 走査プローブ顕微鏡 / 透過型電子顕微鏡 / シリコン単結晶 / 水酸アパタイト / 超微細加工 / 転位 / その場観察 / SiC単結晶 / アモルファス化 |
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| Research Abstract |
将来様々な分野への応用が期待されるマイクロ/ナノシステムの実現に必要なSi単結晶の微細加工技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて微小荷重で引掻き摩擦による加工を試み、得られた加工形状や微構造変化を解明して、加工プロセスを推定した。
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Report
(3 results)
Research Products
(17 results)
