Application of micro/nanotribology to micro fabrication

• Project/Area Number: 19560151
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Design engineering/Machine functional elements/Tribology
• Research Institution: Aichi Institute of Technology
• Principal Investigator: MAKOTO Takagi Aichi Institute of Technology, 工学部, 教授 (40288428)
• Co-Investigator(Kenkyū-buntansha): MATSUMURO Akihito 愛知工業大学, 工学部, 教授 (80173889)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000); Fiscal Year 2008: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2007: ¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000)
• Keywords: トライボロジー / マイクロ / ナノトライボロジー / 走査プローブ顕微鏡 / 透過型電子顕微鏡 / シリコン単結晶 / 水酸アパタイト / 超微細加工 / 転位 / その場観察 / SiC単結晶 / アモルファス化

Research Abstract

将来様々な分野への応用が期待されるマイクロ/ナノシステムの実現に必要なSi単結晶の微細加工技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いて微小荷重で引掻き摩擦による加工を試み、得られた加工形状や微構造変化を解明して、加工プロセスを推定した。

Research Products

• [Journal Article] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • Author(s): Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki and Hiroyasu Saka
  • Journal Title: Materials Transactions 49-6 Pages: 1298-1302
  • NAID: 10021147448
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • Author(s): Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka
  • Journal Title: Materials Transactions Vol. 49, No. 6 Pages: 1298-1302
  • NAID: 10021147448
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] TEM and HRTEM Observations of Microstructural Change of Silicon Single Crystal Scratched under Very Small Loading Forces by AFM (2008)
  • Author(s): Makoto Takagi, Kenji Onodera, Akihito Matsumuro, Hiroyuki Iwata, Katsuhiro Sasaki, Hiroyasu Saka,
  • Journal Title: Materials Transactions Vol.49, No.6 Pages: 1298-1302
  • NAID: 10021147448
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化 (2007)
  • Author(s): 吉田浩也, 松室昭仁, 岩田博之, 高木誠
  • Journal Title: 精密工学会誌 Vol.73, No.10 Pages: 1149-1153
  • NAID: 110006403576
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面変化 (2007)
  • Author(s): 吉田浩也、松室昭仁、岩田博之、高木誠
  • Journal Title: 精密工学会誌 73巻10号 Pages: 1149-1153
  • NAID: 130004658416
  • Peer Reviewed
• [Presentation] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • Author(s): 松本達, 高木誠, 松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学(仙台市)
  • Year and Date: 2008-09-19
• [Presentation] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化 (2008)
  • Author(s): 川本竜也, 高木誠, 松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学(仙台市)
  • Year and Date: 2008-09-19
• [Presentation] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性 (2008)
  • Author(s): 粕谷健太, 高木誠, 松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学(仙台市)
  • Year and Date: 2008-09-19
• [Presentation] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質 (2008)
  • Author(s): 中山浩征, 高木誠, 松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東北大学(仙台市)
  • Year and Date: 2008-09-18
• [Presentation] 生体適合材料のAFMによるマイクロトライボロジーと構造変化 (2008)
  • Author(s): 川本竜也、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I62
• [Presentation] SPM加工現象のTEM内その場観察 (2008)
  • Author(s): 松本達、高木誠、松室昭仁、岩田博之
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I64
• [Presentation] FIB-CVDによるマイクロ構造体の作製と機械的性質 (2008)
  • Author(s): 中山浩征、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I46
• [Presentation] スパッタリングTiC薄膜のマイクロスケールにおける機械的特性 (2008)
  • Author(s): 粕谷健太、高木誠、松室昭仁
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会論文集I63
• [Presentation] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化 (2007)
  • Author(s): 岡田猛、高木誠、松室昭仁、岩田博之、坂公恭
  • Organizer: 精密工学会(秋期大会学術講演会)
  • Place of Presentation: 旭川市
  • Year and Date: 2007-09-12
• [Presentation] ナノチューブ探針を用いたSTM加工による微小構造体の作製 (2007)
  • Author(s): 新井裕之, 松室昭仁, 高木誠
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(707-708)
• [Presentation] AFMを用いた引掻き加工に伴うSi単結晶の微構造変化 (2007)
  • Author(s): 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • Organizer: 2007年度精密工学会秋季大会論文集(839-840)
• [Presentation] AFMによる引掻き加工に伴うSi単結晶のアモルファス化とその挙動 (2007)
  • Author(s): 岡田猛, 高木誠, 松室昭仁, 岩田博之, 坂公恭
  • Organizer: 日本金属学会講演概要2007年秋期大会
  • Place of Presentation: 419