| Project/Area Number |
19560282
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
電力工学・電気機器工学
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| Research Institution | Tokyo Institute of Technology |
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Principal Investigator |
WATANABE Masato Tokyo Institute of Technology, 大学院・総合理工学研究科, 助教 (20251663)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
HOTTA Eiki 東京工業大学, 大学院・総合理工学研究科, 教授 (70114890)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2008: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
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| Keywords | 放電プラズマ / EUV / 流体工学 / デブリ |
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| Research Abstract |
気体放電を用いたEUV光源の効果的なデブリシールド法として, 超音速ノズルおよびディフューザから構成される超音速ガス流方式を提案し, その有用性を実験的に検証することを目的として研究を実施した.真空環境下での安定した超音速流の発生法と, ディフューザによる効率的なガス回収法を検討するために, レーザ誘起蛍光法によりカーテン流の可視化計測を実施した.また, レーザトリガ型放電電極の基礎実験を実施した.
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