Research Project
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
シラン・メタンを原料としたホットワイヤー化学気相成長(HW-CVD)法によるn型およびp型ナノ結晶SiC薄膜の作製に関する研究を行った。(1)予備実験として、N2のHW上での分解を調べ、N_2がHW-CVD法においても有用なN源であることを明らかにした。(2)N_2およびH_2ガス流量を制御して膜の結晶性およびN混入量の制御を図ることにより、高い電気伝導度を有するNドープn型膜の作製に成功した。(3)ラジカル源を併用することにより、固体源をドーパントとしても不純物添加ができ、p型膜の作製の可能性を示した
All 2009 2008
All Journal Article (4 results) (of which Peer Reviewed: 4 results) Presentation (12 results)
Thin Solid Films 517
Pages: 3524-3524
Pages: 3452-3452
Thin Solid Films (未定印刷中)