Study on Novel Fabrication Method for Organic Thin Films using Supercritcal Fluid
| Project/Area Number |
19560320
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electronic materials/Electric materials
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| Research Institution | Kogakuin University |
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Principal Investigator |
SAKAMOTO Tetsuo Kogakuin University, 工学部, 准教授 (20313067)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
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| Keywords | 電気 / 電子材料 / 結晶成長 / 電気・電子材料 / 超臨界流体 / 有機薄膜 / 発光素子 / 電子・電気材料 |
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| Research Abstract |
有機薄膜を作製する新しい方法として、超臨界流体を用いた析出法と急減圧法を検討した。析出法では微結晶ならびに薄膜状の析出物が得られた。一方、急減圧法では微結晶しか得られなかったが、マスクを用いたパターニングが可能であることを示した。従来の方法と比べ、膜質は劣るものの、一貫したドライプロセスで有機薄膜が作製できる点が特徴である
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Report
(3 results)
Research Products
(5 results)
