| Project/Area Number |
19560349
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Osaka Prefecture University |
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Principal Investigator |
KAWATA Hiroaki Osaka Prefecture University, 大学院・工学研究科, 准教授 (90186099)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
HIRAI Yoshihiko 大阪府立大学, 大学院・工学研究科, 教授 (50285300)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2007: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000)
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| Keywords | 微細プロセス技術 / MEMS / 薄膜カンチレバー / 微小質量計測 / 移植法 / リソグラフィレス / 離型 |
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| Research Abstract |
0.1mm程度以下の微小機械であるマイクロマシンの応用が拡大しているが, その作製プロセスは複雑であるため, 現状では付加価値の高い製品に限られている. 本研究では基板に構成部品を貼り付けていく移植法をマイクロマシン作製に適したプロセスに進化させ, さらに, プロセスの簡便化も進めて, 低コストでできるマイクロマシン作製プロセスを開発した. これによりディスポーザブルなマイクロマシンを作るための基本プロセスを確立した.
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