Sinusoidal wavelength-scanning interferometry for measurement of thickness and surface profiles of thin films

Research Project

Project/Area Number	19560419
Research Category	Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Allocation Type	Single-year Grants
Section	一般
Research Field	Measurement engineering
Research Institution	Niigata University
Principal Investigator	SASAKI Osami Niigata University, 自然科学系, 教授 (90018911)
Co-Investigator(Kenkyū-buntansha)	SUZUKI Takamasa 新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
Project Period (FY)	2007 – 2008
Project Status	Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help	¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000) Fiscal Year 2008: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000) Fiscal Year 2007: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
Keywords	光干渉 / 光波長走査 / 形状計測 / 信号推定 / 波長走査 / 光干渉計 / 信号推処 / 信号推処理
Research Abstract	厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。

Report

(3 results)