Sinusoidal wavelength-scanning interferometry for measurement of thickness and surface profiles of thin films
| Project/Area Number |
19560419
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Measurement engineering
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| Research Institution | Niigata University |
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Principal Investigator |
SASAKI Osami Niigata University, 自然科学系, 教授 (90018911)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SUZUKI Takamasa 新潟大学, 自然科学系, 教授 (40206496)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,560,000 (Direct Cost: ¥1,200,000、Indirect Cost: ¥360,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,990,000 (Direct Cost: ¥2,300,000、Indirect Cost: ¥690,000)
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| Keywords | 光干渉 / 光波長走査 / 形状計測 / 信号推定 / 波長走査 / 光干渉計 / 信号推処 / 信号推処理 |
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| Research Abstract |
厚さ0.001mm程度の非常に薄い膜の3次元形状を測定することは、微細構造をもつ電子デバイスの製造において重要なことあるが、容易に測定する方法がなかった。そこで、本研究では、光の波長が時間的に正弦波状に変化するレーザ光源を構築し、この波長走査光源を用いた干渉計で得られる干渉信号をコンピュータ内に取り込み、複雑な反復的演算処理を行うことによって、0.000001mm(ナノメータ)の正確さで膜形状を3次元的に測定することができた。
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Report
(3 results)
Research Products
(5 results)
