| Project/Area Number |
19560677
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Inorganic materials/Physical properties
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| Research Institution | The University of Tokushima |
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Principal Investigator |
MORIGA Toshihiro The University of Tokushima, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 (90239640)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
MURAI Kei-ichiro 徳島大学, 大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 講師 (60335784)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥4,550,000 (Direct Cost: ¥3,500,000、Indirect Cost: ¥1,050,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2007: ¥3,510,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥810,000)
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| Keywords | 透明導電膜 / アモルファス / ブルーシフト / ドーパント / DCマグネトロンスパッタ法 / 酸化亜鉛 / 酸化インジウム / ガス圧 / キャリア移動度 / ポストアニール / 対向ターゲット式dcスパッタ / 有機基板 |
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| Research Abstract |
種々の条件下でPC及びPET基板上にZnO-In_2O_3系アモルファス透明導電膜を作製した。GaやAl等のドーパントを用いることで、(1)ガラス基板上に作製したアモルファス薄膜に匹敵する低い抵抗率の膜を製膜すること、(2)基礎吸収端の位置を僅かではあるが短波長側にシフトさせ、光学窓をより大きくとることが可能となった。
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