Dynamics of formation of ultra-hard thin films of amorphous carbon nitride by energy-controlled ion bombardment
| Project/Area Number |
19560699
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Research Field |
Structural/Functional materials
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| Research Institution | Nagaoka University of Technology |
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Principal Investigator |
ITO Haruhiko Nagaoka University of Technology, 工学部, 准教授 (70201928)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
SAITOH Hidetoshi 長岡技術科学大学, 工学部, 教授 (80250984)
神田 一浩 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (20201452)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
KANDA Kazuhiro 兵庫県立大学, 高度産業科学技術研究所, 准教授 (20201452)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2009
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2009)
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| Budget Amount *help |
¥4,680,000 (Direct Cost: ¥3,600,000、Indirect Cost: ¥1,080,000)
Fiscal Year 2009: ¥260,000 (Direct Cost: ¥200,000、Indirect Cost: ¥60,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
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| Keywords | アモルファス窒化炭素 / アモルファス炭化ケイ素 / 硬質薄膜 / プラズマCVD / プラズマCDA / 硬質膜 / レーザー誘起蛍光 / プラズマ診断 / CNラジカル / 付着確率 / 窒化炭素 / 炭化ケイ素 / BrCN / マイクロ波プラズマCVD / Ar準安定原子 / アモルファス窒素化炭素 / マイクロ波プラズマ / ECRプラズマ / 反応解析 / 発光スペクトル / 電子プローブ |
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| Research Abstract |
アルゴンなどの放電気体と炭素原子を含む気体分子を反応させると、原料分子が分解しアモルファス炭素系薄膜が形成する。特に基板ステージに外部から負の自己バイアス電圧を印加すると、放電中の正イオンが基板に引き寄せられて膜表面を衝撃し、高硬度の薄膜が得られる。この方法を用いて、本研究ではアモルファス窒化炭素、水素化されたアモルファス炭化ケイ素、の各薄膜を形成させ、イオン衝撃の化学的過程を議論した。その結果、プラズマ中のイオンが膜表面を衝撃することにより膜中の水素原子がはじき出され、それに引き続く再結合過程によって一次元的な高分子型構造が三次元的なダイヤモンド型構造へと変化し、膜硬度が上昇することが見出された。
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Report
(4 results)
Research Products
(112 results)
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