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キャピラリ放電型再結合励起を用いた短波長軟X線レーザの開発

Research Project

Project/Area Number 19656074
Research Category

Grant-in-Aid for Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field 電力工学・電気機器工学
Research InstitutionTokyo Institute of Technology

Principal Investigator

堀田 栄喜  Tokyo Institute of Technology, 総合理工学研究科(研究院), 教授 (70114890)

Project Period (FY) 2007 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥3,300,000 (Direct Cost: ¥3,300,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,200,000 (Direct Cost: ¥1,200,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,100,000 (Direct Cost: ¥2,100,000)
Keywords軟X線 / レーザ / パルスパワー / 高速大電流 / 再結合励起 / 水素様窒素 / ネオン様アルゴン / キャピラリ
Research Abstract

現有設備の改良により,再結合励起による水素様窒素の軟X線レーザ発振(波長13.4nm)を世界で初めて実現することを最終目的としている。
昨年度,スイッチ部およびキャピラリ部の構造改良による浮遊インダクタンスの低減を行い,従来の1/3程度までにすることができ,放電電流の増大の可能性を示した。本年度はさらに,中間水コンデンサとキャピラリ負荷を伝送線路で接続し,シミュレーションにより,伝送線路め特性インピーダンスを変化させた場合に,反射電圧波の重畳を利用することによって大電流化および短パルス化が可能なことを見出し,実験により確認した。その結果,電流値65kA以上,パルス幅70ns程度の放電電流を得ることができた。
再結合レーザ実現の可能性を探るため,直径3mm,長さ80〜150mmのキャピラリに窒素を封入して放電を行い,窒素プラズマの電離過程を検証した。シミュレーション結果によれば,4価の窒素イオンが放電開始と共に電流層内側に生ずる衝撃波によって生成され,軸上に衝撃波が達した瞬間には5価まで急激に電離される。その後,150eV程度のピンチプラズマが数nsの間維持され,6価のイオンが徐々に増加していく。その後,さらに数nsの時間を掛けて7価の窒素イオンが生成されることが分かった。実験では,放射光をXRDを用いて計測し,波長20nm以下のXRD信号と波長3nm以下のXRD信号の計測結果から,放電開始後20ns付近から,2-5価のイオンからの放射が確認され,放電電流が70kA程度に達した後,再度,ピークの2/3程度まで電流が減少した時刻に,水素様窒素の1s-2p遷移(2.5nm)または水素様窒素の上位準位から1sへの再結合放射光が観測され,最大ピンチ時に,水素様窒素が存在していることが明らかになった。今後,分光計測により,小信号利得の計測を行い,再結合励起レーザ発振の可能性を調べる予定である。

Report

(2 results)
  • 2008 Annual Research Report
  • 2007 Annual Research Report
  • Research Products

    (11 results)

All 2009 2008 2007

All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (5 results)

  • [Journal Article] The possibility of a capillary discharge soft X-ray laser with shorter wavelength by utilizing a recombination scheme2009

    • Author(s)
      Yusuke Sakai, S. Takahashi, Tomonao Hosokai, et al.
    • Journal Title

      J. Plasma and Fusion Research Series (In Press)

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 水素様窒素再結合励起型軟X線レーザ発振に向けた装置開発2008

    • Author(s)
      高橋俊輔, 酒井雄祐, 渡邊正人, 他
    • Journal Title

      電気学会研究会資料,パルスパワー・放電合同研究会 PPT-08-21/ED-08-50

      Pages: 31-36

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Journal Article] Development of High Power Pumping System for Capillary Duscharge EUV Laser2008

    • Author(s)
      Yusuke Sakai, Takanori Komatsu, Masato Watanabe, et al.
    • Journal Title

      NIFS 2007 Coordinated Research (Symposium) NIFS-PROC-72

      Pages: 1-4

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Journal Article] Measurement of Divergence of Ne-like Ar Soft X-ray Laser Generated by Capillary Z-Pinch Discharge2008

    • Author(s)
      Y. Hayashi, H. Ghomi, Y. Zhao, Y. Cheng, Y. Sakai, et. al.
    • Journal Title

      Japanese Journal of Applied Physics 47

      Pages: 977-979

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Soft X-ray Radiation from Nitrogen Z-pinch Plasma Produced by Capillary Discharge2007

    • Author(s)
      Y. Sakai, T. Komatsu, Y. Xiao, I. Song, G. Niimi, et. al.
    • Journal Title

      IEEJ Trans. on Fundamentals and Materials 127

      Pages: 675-610

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 水素様窒素再結合励起型軟X線レーザ発振に向けたパルスパワーシステムの開発2007

    • Author(s)
      高橋俊輔, 酒井雄祐, 渡邊正人, 沖野晃俊, 堀田栄喜
    • Journal Title

      電気学会研究会資料 PPT-07

      Pages: 29-33

    • NAID

      10019975962

    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] FAST PULSED CAPILLARY DISCHARGE FOR LASING OF A RECO MBINATION SOFT X-RAY LASER2008

    • Author(s)
      Shunsuke Takahashi, Yusuke Sakai, Masato Watanabe, et al.
    • Organizer
      14th International Congress on Plasma Physics
    • Place of Presentation
      Fukuoka, Japan
    • Year and Date
      2008-09-11
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] THE POSSIBILITY OF A CAPILLARY DISCHARGE SOFT X-RAY LASER WITH SHORTER WAVELENGTH BY UTILIZING A RECOMBINATION SCHEME2008

    • Author(s)
      Yusuke Sakai, Shunsuke Takahashi, Masato Watanabe, et al.
    • Organizer
      14th International Congress on Plasma Physics
    • Place of Presentation
      Fukuoka, Japan
    • Year and Date
      2008-09-11
    • Related Report
      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] Discharge Produced Plasma EUV Light Sources for Microlithography and Capillary Discharge SXR Laser2008

    • Author(s)
      Eiki Hotta
    • Organizer
      2008 Academic Symposium on Optoelectronics & Microelectronics Technology(ASOMT 2008)
    • Place of Presentation
      Harbin, China
    • Year and Date
      2008-01-27
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Optimization of capillary discharge condition for SXR and EUV sources2007

    • Author(s)
      Eiki Hotta
    • Organizer
      28th International Conference on Phenomena in Ionized Gases
    • Place of Presentation
      Prague, Czech
    • Year and Date
      2007-07-17
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Hig Voltage Capillary Discharge System for Excitation of Soft X-Ray Laser2007

    • Author(s)
      Yusuke Sakai
    • Organizer
      Int. Conf. on Pulsed Power and Plasma Science(PPPS2007),
    • Place of Presentation
      Albuquerque, NM, USA
    • Year and Date
      2007-06-20
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

URL: 

Published: 2007-04-01   Modified: 2016-04-21  

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