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大気圧マイクロ波プラズマによる非凝集ナノ粒子の高効率気相合成

Research Project

Project/Area Number 19656204
Research Category

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Properties in chemical engineering process/Transfer operation/Unit operation
Research InstitutionHiroshima University

Principal Investigator

島田 学  Hiroshima University, 大学院・工学研究科, 教授 (70178953)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 汪 偉寧  広島大学, 大学院・工学研究科, 助教 (20467765)
奥山 喜久夫  広島大学, 大学院・工学研究科, 教授 (00101197)
Project Period (FY) 2007 – 2009
Project Status Completed (Fiscal Year 2009)
Budget Amount *help
¥3,300,000 (Direct Cost: ¥3,300,000)
Fiscal Year 2009: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2008: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,600,000 (Direct Cost: ¥1,600,000)
Keywordsナノ材料 / CVD / 非平衡・低温プラズマ / サイズ・形態制御 / 金属酸化物粒子 / エアロゾル / 複合粒子 / 非平衡プラズマ / 低温プラズマ / 金属窒化物粒子 / 静電気力
Research Abstract

本研究では、凝集度の低いナノ粒子を比較的低温の反応場において生成させることが期待できる、マイクロ波プラズマをエネルギー源とする気相合成法を開発して、その有用性を明らかにすることを目的として研究を行った。本年度の研究成果の概要は、以下のとおりである。
1. チタンのアルコキシド蒸気を原料として酸化チタンナノ粒子の合成実験を行った。反応器内のガス流量を増大させると粒子サイズは減少し、また非凝集となりやすい傾向がみられた。ガス圧力や原料濃度の変化によって粒子の生成量を制御できた。プラズマ強度の変化が粒子性状に与える影響も評価することができた。
2. ガリウムの有機化合物蒸気とアンモニアガスを原料とした窒化ガリウムナノ粒子の合成を検討した。前年度までの合成実験結果の吟味より、合成反応を促進させる必要性が認識されたため、合成条件の慎重な調整によるプラズマ強度の向上に取り組んだ。その結果、量論比をほぼ満足する組成を有し、また十分な蛍光特性も示す粒子を合成することに成功した。さらに、インジウムの有機化合物蒸気を原料に加えたところ、内部にインジウムを含む窒化ガリウムのナノ粒子およびナノファイバーを生成させることができた。
3. チタンアルコキシド蒸気を用いた粒子合成場に、酸化シリコンの微粒子を分散して導入したところ、合成条件によっては酸化シリコン粒子の周りに酸化チタンの層や微結晶が付着した生成物が生じる場合があった。このような生成物が得られる条件を十分絞り込むには至らなかったが、上記1や2で検討した単独粒子の合成に関わる因子が被覆粒子の生成も支配することが示唆された。
4. 今年度までに得られた実験結果および知見から、本合成法によるナノ粒子合成の特徴と、合成の制御のために必要な因子を整理した。またこれにより、合成を最適化するための装置、プロセス条件の指針を得ることができた。

Report

(3 results)
  • 2009 Annual Research Report
  • 2008 Annual Research Report
  • 2007 Annual Research Report
  • Research Products

    (10 results)

All 2010 2009 2008 2007

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (7 results)

  • [Journal Article] Synthesis of Gallium Nitride Nanoparticles by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Method2010

    • Author(s)
      Shimada, M.
    • Journal Title

      Chem.Vap.Deposition (掲載決定)

    • Related Report
      2009 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Development and Evaluation of an Aerosol Generation and Supplying System for Inhalation Experiments of Manufactured Nanoparticles2009

    • Author(s)
      Shimada, M.
    • Journal Title

      Environ.Sci.Technol 43-14

      Pages: 5529-5534

    • Related Report
      2009 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] 高周波非平衡プラズマ中の微粒子の計測と制御2009

    • Author(s)
      島田 学
    • Journal Title

      J. Vac. Soc. Jpn. 52(掲載決定)

    • NAID

      10025583995

    • Related Report
      2008 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] RF非平衡プラズマ場を用いた高分散ナノ粒子合成プロセス2009

    • Author(s)
      島田学
    • Organizer
      化学工学会第41回秋季大会
    • Place of Presentation
      東広島市
    • Year and Date
      2009-09-17
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] ナノサイズクラスターの堆積による表面形態の形成過程2009

    • Author(s)
      島田学
    • Organizer
      化学工学会第41回秋季大会
    • Place of Presentation
      東広島市
    • Year and Date
      2009-09-17
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] プラズマ中エアロゾル粒子を用いた複合薄膜の合成2009

    • Author(s)
      島田学
    • Organizer
      第26回エアロゾル科学・技術研究討論会
    • Place of Presentation
      岡山市
    • Year and Date
      2009-08-20
    • Related Report
      2009 Annual Research Report
  • [Presentation] Particle Dispersion Method for Inhalation Experiment2008

    • Author(s)
      Manabu Shimada
    • Organizer
      NEDO-AIST-OECD合同国際シンポジウム
    • Place of Presentation
      東京都
    • Year and Date
      2008-04-23
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      2008 Annual Research Report
  • [Presentation] 非平衡プラズマによる金属酸化物・金属窒化物粒子の生成2007

    • Author(s)
      島田 学
    • Organizer
      第46回CVD研究会
    • Place of Presentation
      名古屋市・名古屋大学
    • Year and Date
      2007-12-03
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] Synthesis of Gallium Nitride Nanoparticles Using a Novel Microwave Plasma Reactor2007

    • Author(s)
      M. Shimada
    • Organizer
      The 5th Asian Aerosol Conference
    • Place of Presentation
      Tuntex Sky Tower, Kaohsiung, Taiwan
    • Year and Date
      2007-08-28
    • Related Report
      2007 Annual Research Report
  • [Presentation] 13族窒化物発光ナノ粒子のマイクロ波プラズマ気相合成2007

    • Author(s)
      林 豊
    • Organizer
      第24回エアロゾル科学・技術研究討論会
    • Place of Presentation
      和光市・国立保健医療科学院
    • Year and Date
      2007-08-09
    • Related Report
      2007 Annual Research Report

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Published: 2007-04-01   Modified: 2016-04-21  

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