Stamping transfer method for large-area, function-integration, flexible MEMS devices
Project/Area Number |
19681014
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Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
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Allocation Type | Single-year Grants |
Research Field |
Microdevices/Nanodevices
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Research Institution | The University of Tokyo |
Principal Investigator |
IWASE Eiji The University of Tokyo, 大学院・情報理工学系研究科, 助教 (70436559)
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Project Period (FY) |
2007 – 2008
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Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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Budget Amount *help |
¥22,360,000 (Direct Cost: ¥17,200,000、Indirect Cost: ¥5,160,000)
Fiscal Year 2008: ¥8,970,000 (Direct Cost: ¥6,900,000、Indirect Cost: ¥2,070,000)
Fiscal Year 2007: ¥13,390,000 (Direct Cost: ¥10,300,000、Indirect Cost: ¥3,090,000)
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Keywords | MEMS / スタンピング転写 / フレキシブルデバイス / マイクロマシン |
Research Abstract |
スタンピング転写を用いることにより、別々の基板上で製作したMEMS構造をフレキシブルシート上に集積した。これにより、今までフレキシブルシート上には製作が困難であった3次元構造や可動機構をもつMEMSデバイスが実現可能となる。本研究を実現する過程で、スタンピング転写の転写率・転写位置精度、平面ギャップの製作精度の評価を行った。また、実際に3次元構造および可動機構を有する応用的な光MEMSデバイスをPDMSシート上に作成できることを示した。
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Report
(3 results)
Research Products
(5 results)