| Project/Area Number |
19710117
|
|---|
| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
|
| Allocation Type | Single-year Grants |
|---|
| Research Field |
Microdevices/Nanodevices
|
|---|
| Research Institution | Tohoku University |
|---|
Principal Investigator |
IGUCHI Fumitada Tohoku University, 大学院工学研究科, 助教 (00361113)
|
|---|
| Project Period (FY) |
2007 – 2008
|
| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
|
| Budget Amount *help |
¥3,090,000 (Direct Cost: ¥2,700,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,400,000 (Direct Cost: ¥1,400,000)
|
|---|
| Keywords | ナノデバイス造形 / PLD / 残留応力制御 / 一室型固体酸化物形燃料電池 / SOFC / MEMSプロセス / PLD法 / ナノイオニクス |
|---|
| Research Abstract |
本研究はMEMSデバイスの電源としても適用可能な固体酸化物形燃料電池(SOFC)を従来の手法ではなく,MEMSプロセスに適合したドライプロセスのみを用いてシリコンウェハー上に作り上げたものである。SOFCの主構成材料であるセラミックスとシリコンウェハーは性質が異なり,残留応力等による破壊の問題が多く発生したが,SOFCの構造に応力に比較的対抗性の高い一室型構造を採用した結果,SOFCセルの構築に成功した。しかし機電力等電池としての性能は低いため今後の構造,材料面での追加が必要であることも同時に明らかになった。
|
