| Project/Area Number |
19740339
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Plasma science
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| Research Institution | Toyohashi University of Technology (2008)
Hokkaido University (2007) |
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Principal Investigator |
SUDA Yoshiyuki Toyohashi University of Technology, 工学部, 准教授 (70301942)
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| Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha) |
SUGAWARA Hirotake 北海道大学大学院, 情報科学研究科, 准教授
TAKAYAMA Junichi 北海道大学大学院, 情報科学研究科, 修士課程
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,510,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2008: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,600,000)
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| Keywords | プラズマ応用 / 単層カーボンナノチューブ / カイラリティ / 化学気相堆積 / エッチング / 二酸化炭素 / 化学活性種 / ラマン分光 |
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| Research Abstract |
(1) カーボンナノチューブ(CNT)の原料ガスであるCH_4にCO_2ガスを添加したところ,多層CNTの層数・内径・外径が増加した。また,CO_2添加により単層CNTの直径分布を太い方へ変化できた。(2)CNT成長領域から60cm程度の距離にプラズマを発生させることで,Si基板上に堆積したAl_2O_3/Fe/Al_2O_3の3層構造触媒から欠陥のほとんどない高品質な単層CNTが合成できた。
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