Development of plasma-assisted coating method of narrow inner surface for micro molds and small advanced mechanical components
| Project/Area Number |
19740343
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Plasma science
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| Research Institution | Nagoya University |
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Principal Investigator |
KOUSAKA Hiroyuki Nagoya University, 大学院・工学研究科, 准教授 (90362318)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,750,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
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| Keywords | DLC / マイクロ波 / 内面 / 細穴 / 高アスペクト比 / プラズマ / 微小口径 |
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| Research Abstract |
本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.
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Report
(3 results)
Research Products
(32 results)
