Research Project
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
原子間力顕微鏡(AFM)の探針先端から電界蒸発により原子を飛ばし試料表面にパターン描画するAFMリソグラフィー手法をより精度の高い手法として確立した。水晶振動子に取り付けた極細金属ワイヤーを集束イオンビームにより加工してAFM探針とし、非接触法によって探針・試料間距離制御を行うことにより、自然酸化膜付きのSi基板上に線幅20〜30nm程度の金属細線描画や金属ナノドットのパターン形成を行った。
All 2009 2008 2007
All Journal Article (6 results) (of which Peer Reviewed: 6 results) Presentation (11 results)
Physical Review Letters 102
Pages: 1055031-4
Review of Scientific Instruments 79
Pages: 1237061-4
Journal of Physics : Conference Series 61
Pages: 22-25
Journal of Physics: Conference Series 61