Development of Sensitive Eddy Current Microscopy Technique for Quantitative Evaluation of Electrical Conductivity of Thin Films
| Project/Area Number |
19760057
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Materials/Mechanics of materials
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| Research Institution | Tohoku University |
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Principal Investigator |
TOHMYOH Hironori Tohoku University, 大学院・工学研究科, 准教授 (50374955)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,750,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
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| Keywords | 機械材料 / 材料力学 / 走査型プローブ顕微鏡 / 渦電流 / ナノ薄膜 / 導電率 / 機械材料・材料力学 / 非接触計測 / 磁気プローブ / 位相 |
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| Research Abstract |
磁気プローブの高速振動によりナノ薄膜内の局所的な領域に高密度の渦電流を形成し、これに起因したプローブの振動位相の変化(渦電流損失)を観察することで、ナノ薄膜の導電率を高感度、かつ定量的に評価することのできる渦電流マイクロスコピー法を開発した。観察される磁気プローブの振動位相の遅れ量が薄膜の導電率に比例することを実験的、および理論的に示した。さらに、直径800nmなるPtナノワイヤに高密度の渦電流を誘導すると共に、これによる磁気プローブの位相変化を検知することに成功した。
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Report
(3 results)
Research Products
(21 results)
