Three dimensional multi-layered flow generator and its application

• Project/Area Number: 19760172
• Research Category: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Research Field: Intelligent mechanics/Mechanical systems
• Research Institution: Kagawa University (2008); Kyoto University (2007)
• Principal Investigator: SUZUKI Takaaki Kagawa University, 工学部, 准教授 (10378797)
• Project Period (FY): 2007 – 2008
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2008)
• Budget Amount: ¥3,750,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥450,000); Fiscal Year 2008: ¥1,950,000 (Direct Cost: ¥1,500,000、Indirect Cost: ¥450,000); Fiscal Year 2007: ¥1,800,000 (Direct Cost: ¥1,800,000)
• Keywords: マイクロ流体システム / microTAS / フォトリソグラフィ / マイクロミキサ / マイクロ・ナノデバイス / マイクロマシン / 流体工学

Research Abstract

本研究では、単一のマスクパターンからアライメントレスで複雑な3次元構造を作製するフォトリソグラフィ法を提案するとともに、提案するプロセスの具体的な応用例として3次元多層流を用いた高速マイクロミキサの試作・評価を行った。提案するフォトリソグラフィ技術は、遮光用のメタル層がパターニングされたガラス基板に紫外線硬化性樹脂を直接塗布し、裏面から紫外線を傾斜露光することによって、単一のマスクパターンから3次元的な構造を作製することができる。

Research Products

• [Journal Article] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御 (2009)
  • Author(s): 鈴木孝明,秦秀敏,神野伊策,小寺秀俊
  • Journal Title: 日本AEM学会誌 17 Pages: 253-258
  • NAID: 110007334003
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御 (2009)
  • Author(s): 鈴木孝明
  • Journal Title: 日本AEM学会誌 (未)(印刷中)
  • NAID: 110007334003
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] バルブレスマイクロポンプによる流体輸送 (2008)
  • Author(s): 鈴木孝明
  • Journal Title: 油空圧技術 47 Pages: 69-74
• [Journal Article] Modal Analysis for Externally Driven Micropump and Additional Mass Effect of Water (2008)
  • Author(s): K. Kanda, S. Ishikawa, J. Ogawa, T. Suzuki, I. Kanno, and H. Kotera
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics 47 Pages: 5226-5230
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Modal Analysis for Externally Driven Micropump and Additio nal Mass Effect of Water (2008)
  • Author(s): Kensuke Kanda
  • Journal Title: Japanese Journal of Applied Physics 47 Pages: 5226-5230
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] a low-damage cell trapping array fabricated by single-mask multidirectional photolithography with equivalent circuit analysis (2007)
  • Author(s): T. Suzuki, H. Yamamoto, M. Ohoka, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • Journal Title: Proceedings of the 11th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2007) 2 Pages: 1765-1767
• [Journal Article] A LOW-DAMAGE CELL TRAPPING ARRAY FABRICATED BY SINGLE-MASK MULTIDIRECTIONAL PHOTOLITHOGRAPHY WITH EQUIVALENT CIRCUIT ANALYSIS (2007)
  • Author(s): Takaaki Suzuki, Hideo Yamamoto, Masataka Ohoka, Isaku Kanno, Masao Washizu, and Hidetoshi Kotera
  • Journal Title: The Proceedings of the lltb International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2007) 2 Pages: 1765-1767
  • Peer Reviewed
• [Presentation] Single-Mask Multidirectional Photolithography with Multiple Resist Coat for Multi-Layered Microfluidic Networks (2009)
  • Author(s): T. Suzuki, Y. Hirabayashi, K. Terao, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • Organizer: International Conference on Microtechnologies in Medicine and Biology
  • Place of Presentation: Quebec, CANADA
• [Presentation] Single-Mask Multidirectional Photolithography with Multiple R esist Coat for MultiLayered Microfluidic Networks (2009)
  • Author(s): Takaaki Suzuki
  • Organizer: 2009 International Conference on Microtec hnologies in Medicine and Biology
  • Place of Presentation: Quebec, CANADA
• [Presentation] Single-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製 (2008)
  • Author(s): 萩尾吉則、鈴木孝明、神野伊策、小寺秀俊
  • Organizer: 第18回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
  • Place of Presentation: 京都大学(京都市)
• [Presentation] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロポンプによる流体輸送制御 (2008)
  • Author(s): 鈴木孝明、秦秀敏、神野伊策、小寺秀俊
  • Organizer: 第17回MAGDAコンファレンスin日立
  • Place of Presentation: 日立シビックセンター(茨城県日立市)
• [Presentation] 2層構造を有する細胞固定デバイスの開発 (2008)
  • Author(s): 鈴木孝明、平林恭稔、神野伊策、小寺秀俊
  • Organizer: 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: 沖縄コンベンションセンター(沖縄県宜野湾市)
• [Presentation] Assembly-free microfabrication process for multi-layered microfluidic networks using single-mask multidirectional photolithography (2008)
  • Author(s): T. Suzuki, Y. Hirabayashi, I. Kanno, M. Washizu and H. Kotera
  • Organizer: The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2008)
  • Place of Presentation: San Diego, USA
• [Presentation] Novel Micromixer Utilizing Frequency Mode Modulation on Meta-Structure (2008)
  • Author(s): K. Kanda, Y. Noda, T. Suzuki, I. Kanno and H. Kotera
  • Organizer: The 12th International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences (MicroTAS2008)
  • Place of Presentation: San Diego, USA
• [Presentation] 質量分布型マイクロミキサー (2008)
  • Author(s): 神田健介、鈴木孝明、神野伊策、小寺秀俊
  • Organizer: 日本機械学会2008年度年次大会
  • Place of Presentation: 横浜国立大学(神奈川県横浜市)
• [Presentation] Assembly-Free Microfabrication Process for MultiLayered Mic rofluidic Networks Using Single-Mask Multidirectional Photoli thography (2008)
  • Author(s): Takaaki Suzuki
  • Organizer: The 12th International Conference on Mini aturized Systems for Chemistry and Life S ciences
  • Place of Presentation: San Diego, USA
• [Presentation] Novel Micromixer Utilizing Frequency Mode Modulation on Meta-Structure (2008)
  • Author(s): Kensuke Kanda
  • Organizer: The 12th International Conference on Mini aturized Systems for Chemistry and Life S ciences
  • Place of Presentation: San Diego, USA
• [Presentation] Slngle-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製 (2008)
  • Author(s): 萩尾吉則
  • Organizer: 第18回化学とマイクロ・ナノシステム研究会
  • Place of Presentation: 京都大学(京都市)
• [Presentation] 積層型圧電アクチュエータを用いた進行波型マイクロ』ポンプによる流体輸送制御 (2008)
  • Author(s): 鈴木孝明
  • Organizer: 第17回MAGDAコンファレンスin日立
  • Place of Presentation: 日立シビックセンター(茨城県日立市)
• [Presentation] 2層構造を有する細胞固定デバイスの開発 (2008)
  • Author(s): 鈴木孝明
  • Organizer: 第25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジゥム
  • Place of Presentation: 沖縄コンベンションセンター(沖縄県宜野湾市)
• [Presentation] 細胞固定チップのオリフィス構造上で培養される細胞の評価 (2007)
  • Author(s): 志牟田耕平, 鈴木孝明, 小此木孝仁, 神野伊策, 小寺秀俊
  • Organizer: 日本機械学会2007年度年次大会
  • Place of Presentation: 関西大学千里山キャンパス(吹田市)
  • Year and Date: 2007-09-09
• [Presentation] High throughput cell electroporation array fabricated by single-mask inclined UV lithography exposure and oxygen plasma etching (2007)
  • Author(s): T. Suzuki, H. Yamamoto, M. Ohoka, A. Okonogi, H. Kabata, I. Kanno, M. Washizu, and H. Kotera
  • Organizer: The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems
  • Place of Presentation: Lyon, France
  • Year and Date: 2007-06-10
• [Presentation] High throughput cell electroporation array fabricated by single-mask inclined UV lithography exposure and oxygen plasma etching (2007)
  • Author(s): Takaaki Suzuki, Hideo Yamamoto, Masataka Ohoka, Atsuhito Okonogi, Hiroyuki Kabata, Isaku Kanno, Masao Washizu, and Hidetoshi Kotera
  • Organizer: The 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuatois and Microsystems (Transducers'07)
  • Place of Presentation: Lyon, France
  • Year and Date: 2007-06-10
• [Presentation] 細胞固定チップのオリフィス構造上で培養される細胞の評価 (2007)
  • Author(s): 志牟田耕平、鈴木孝明、小此木孝仁、神野伊策、小寺秀俊
  • Organizer: 2007年度年次大会
  • Place of Presentation: 関西大学千里山キャンパス(吹田市)
• [Presentation] Single-Mask回転傾斜リソグラフィを用いた細胞固定アレイの設計 (2007)
  • Author(s): 鈴木孝明、山本英郎、大岡正孝、神野伊策、鷲津正夫、小寺秀俊
  • Organizer: 第24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
  • Place of Presentation: タワーホール船堀(東京都江戸川区)
• [Remarks]
  • URL: http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/~suzuki/
• [Remarks]
  • URL: http://www.eng.kagawa-u.ac.jp/suzuki/
• [Patent(Industrial Property Rights)] 回転傾斜露光法を用いた流路形成 (2007)
  • Inventor(s): 鈴木孝明、小寺秀俊、神野伊策
  • Industrial Property Rights Holder: 京都大学
  • Industrial Property Number: 2007-261628
  • Filing Date: 2007-10-05
• [Patent(Industrial Property Rights)] 回転傾斜露光法を用いた流路形成 (2007)
  • Inventor(s): 鈴木孝明, 小寺秀俊, 神野伊策
  • Industrial Property Rights Holder: 京都大学
  • Industrial Property Number: 2007-261628
  • Filing Date: 2007-10-05