| Project/Area Number |
19760243
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Electron device/Electronic equipment
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| Research Institution | Akita Research and Development Center |
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Principal Investigator |
近藤 祐治 Akita Research and Development Center, 高度技術研究所, 研究員 (70390903)
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| Research Collaborator |
千葉 隆 秋田県産業技術総合研究センター, 高度技術研究所, 主任研究員 (70370236)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,410,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2008: ¥910,000 (Direct Cost: ¥700,000、Indirect Cost: ¥210,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,500,000 (Direct Cost: ¥2,500,000)
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| Keywords | 磁気記録媒体 / パターン媒体 / 低エネルギーイオンエッチング / 顕微磁気円二色性 / 静磁気相互作用 / ドット間交換結合 / 超高密度磁気記 / ビットパターン媒体 / ナノドット / 電子線リソグラフィー / 反転磁界分散 |
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| Research Abstract |
次世代の磁気記録装置として期待されているナノメーターサイズの磁性ドットを周期的に配列したパターン媒体作製の基盤技術を構築することを目指した.電子線露光と低エネルギーイオンによるエッチングを用いることによって,世界で初めて良好な磁気特性を有する1Tbit/in2相当の磁性ドット規則配列パターンを作製することができた.また,1Tbit/in2以上の記録密度を実現するためのパターン媒体設計指針として,ドット間を磁気的に繋げることによって,熱安定性に優れ,かつ記録しやすい媒体を実現できることを示した.
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