Research Project
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
高周波マグネトロンスパッタと真空蒸着重合装置を連結させた2槽連結型成膜装置中でAl2O3、ポリアミド酸を交互に成膜することを繰り返し、その後加熱イミド化を行うことによりAl2O3/ポリイミドナノ積層材料を得ることに成功した。成膜時間を変化させることにより、膜厚を制御する方法を確立した。得られた材料は表面の局所的な圧縮負荷に対して損傷許容性を持つことを確認した。さらに、波形の表面を持つ基板に成膜を施すことにより、波形のナノ積層材料を得ることに成功した。
All 2009 2007
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