Development and structural analyses of hard and wear-resistant thin films for dry-cutting
| Project/Area Number |
19760509
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Material processing/treatments
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| Research Institution | Okayama University |
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Principal Investigator |
HASEGAWA Hiroyuki Okayama University, 大学院・自然科学研究科, 助教 (60403482)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,480,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥180,000)
Fiscal Year 2008: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000)
Fiscal Year 2007: ¥2,700,000 (Direct Cost: ¥2,700,000)
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| Keywords | コーティング / 非平衡プロセス / X線回折法 / 原子間力顕微鏡 / 微細構造 / 耐酸化性 / 電子顕微鏡 / 硬質薄膜 / 耐熱性 |
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| Research Abstract |
アルミニウム含有量の増加に伴い,(Cr,Al)Nは立方晶から六方晶へ変態し,その近傍において,膜の最大硬度が得られる.本研究では,相変態近傍の組成を有する(Cr,Al)Nに希土類元素および珪素を添加した硬質膜をカソディックアークイオンプレーティング法および高周波マグネトロンスパッタリング法により作製し,耐熱性,耐酸化性,微細構造を中心とした評価を実施した.
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Report
(3 results)
Research Products
(13 results)
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[Journal Article] Micro-hardness2008
Author(s)
Hiroyuki Ezura, Koji Ichijo, Hiroyuki Hasegawa, Kenji Yamamoto, Atsushi Hotta, Tetsuya Suzuki
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Journal Title
microstructures and thermal stability of (Ti,Cr,Al,Si) N films deposited by cathodic arc method Vacuum Vol.82
Pages: 476-481
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