Separation and Recovery Process of Tetraalkylammonium Hydroxidefrom Photoresist Waste
| Project/Area Number |
19760530
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Research Field |
Properties in chemical engineering process/Transfer operation/Unit operation
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| Research Institution | The University of Kitakyushu |
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Principal Investigator |
NISHIHAMA Syouhei The University of Kitakyushu, 国際環境工学部, 准教授 (00347668)
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| Project Period (FY) |
2007 – 2008
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2008)
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| Budget Amount *help |
¥3,420,000 (Direct Cost: ¥3,000,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,820,000 (Direct Cost: ¥1,400,000、Indirect Cost: ¥420,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,600,000 (Direct Cost: ¥1,600,000)
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| Keywords | 反応・分離工学 / 廃棄物処理 / イオン交換 / ゼオライト / 水酸化テトラアルキルアンモニウム / 吸着 |
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| Research Abstract |
本研究では、吸着法を用いた、フォトレジスト廃液からの水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)の低コストかつ省スペースな分離・回収プロセスについて、エンドオブパイプで廃水処理が可能なシステムを確立することを目的として研究を進めた。ゼオライトAおよびX吸着剤を開発し、バッチ吸着特性を明らかにした。加えて造粒吸着剤を開発し、カラム操作でのTAAHの吸着分離プロセスを開発した。
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Report
(3 results)
Research Products
(3 results)
