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レーザー生成プラズマ極端紫外光源のためのマイクロドロップレット生成

Research Project

Project/Area Number 19860057
Research Category

Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)

Allocation TypeSingle-year Grants
Research Field Thin film/Surface and interfacial physical properties
Research InstitutionKyushu University

Principal Investigator

中村 大輔  九大, システム情報科学研究科(研究院 (40444864)

Project Period (FY) 2007 – 2008
Project Status Completed (Fiscal Year 2008)
Budget Amount *help
¥2,739,000 (Direct Cost: ¥2,400,000、Indirect Cost: ¥339,000)
Fiscal Year 2008: ¥1,469,000 (Direct Cost: ¥1,130,000、Indirect Cost: ¥339,000)
Fiscal Year 2007: ¥1,270,000 (Direct Cost: ¥1,270,000)
KeywordsEUV / レーザー生成プラズマ / ドロップレット
Research Abstract

2013年ごろ以降の半導体集積回路の進展を実現するための次世代リソグラフィ用光源として、波長13.5nmの極端紫外光(EUV:extreme Ultra Violet)の開発が世界規模で行なわれている。レーザーを利用したEW光発生方式において、光学系の寿命低下を引き起こすデブリ発生を低減し、EUV発生効率を高める効率的なターゲットとしてスズを材料としたマイクロサイズのドロップレットが注目されており、このドロップレットのオンデマンド生成を目指し研究を行なった。平成19年度の研究成果は以下の通りである。 1)ドロップレットの生成装置の開発 実用的なドロップレットは、直径10〜30μmのサイズと見積もられているが、本実験ではレーザーを利用したドロップレット生成装置を開発した。具体的には、ガラス基板上に蒸着したスズ薄膜に対し、出力を制御したNd:YAG laserを基板側から集光照射することで薄膜を融解させドロップレットを生成させた。結果、比較的真球に近いドロップレットが生成された。 2)レーザー出力に対する生成条件の調査 レーザー出力の変調によるドロップレット生成の有無を調査した。低出力では、ドロップレットが薄膜側に保持されるような形で凝固する結果となった。一方、出力が高すぎるとレーザー照射によってアブレーションが起こり、基板と薄膜の問で発生したガスにより融解した薄膜が吹き飛ばされ小粒のドロップレットとなって飛散して基板上に付着する結果となった。最適出力に制御することで、10μmサイズの真球状のドロップレットの生成に成功した。

Report

(1 results)
  • 2007 Annual Research Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2008 2007

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 3 results) Presentation (13 results)

  • [Journal Article] Investigation of Debris Dynamics from Laser-Produced Tin Plasma for EUV Lithography Light Source2008

    • Author(s)
      Daisuke Nakamura, Koji Tamaru, Tomoya Akiyama, Akihiho Takahashi, and Tatsuo Okada
    • Journal Title

      Appl.Phys.A conference volume of COLA (In press)

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  • [Journal Article] Diagnostics of Debris from Laser-Produced Tin Plasma with Droplet Target for EUV Light Source2008

    • Author(s)
      Daisuke Nakamura, Koji Tamaru, Tomoya Akiyama, Tomohiro Kawano, Akihiko Takahashi, Tatsuo Okada
    • Journal Title

      Proceedings of APLS (In press)

    • NAID

      130004465982

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  • [Journal Article] Laser-lmaging of Laser-Produced Tin plume behavior for BUV Light Source2007

    • Author(s)
      Daisuke Nakamura, Yuki Hashimoto, Koji Tamaru, Akihiko Takahashi, and Tatsuo Okada
    • Journal Title

      Technical Digest of CLEO Pacific Rim (In press)

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  • [Presentation] Diagnostics of Debris from Laser-Produced Tin Plasma with Droplet Target for EUV Light Source2008

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      Daisuke Nakamura, Koji Tamaru, Tomoya Akiyama, Tomohiro Kawano, Akihiko Takahashi, and Tatsuo Okada
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      名古屋
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      中村 大輔, 秋山 智哉, 田丸 晃士, 高橋 昭彦, 岡田 龍雄
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      名古屋
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      東京
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      札幌
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      札幌
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      北九州
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      中村 大輔, 秋山 智哉, 田丸 晃士, 高橋 昭彦, 岡田 龍雄
    • Organizer
      EUV光源開発技術委員会
    • Place of Presentation
      大阪
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      2007 Annual Research Report

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Published: 2007-04-01   Modified: 2016-04-21  

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