Nano-defect super-resolution measurement of next-generation micro-functional structures using localized optical fields with dynamic phase control
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19H02036
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Review Section |
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
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| Research Institution | The University of Tokyo |
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Principal Investigator |
Takahashi Satoru 東京大学, 先端科学技術研究センター, 教授 (30283724)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
門屋 祥太郎 東京大学, 先端科学技術研究センター, 助教 (60880234)
道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
西川 正俊 法政大学, 生命科学部, 准教授 (30444516)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2022)
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| Budget Amount *help |
¥17,550,000 (Direct Cost: ¥13,500,000、Indirect Cost: ¥4,050,000)
Fiscal Year 2021: ¥2,080,000 (Direct Cost: ¥1,600,000、Indirect Cost: ¥480,000)
Fiscal Year 2020: ¥6,500,000 (Direct Cost: ¥5,000,000、Indirect Cost: ¥1,500,000)
Fiscal Year 2019: ¥8,970,000 (Direct Cost: ¥6,900,000、Indirect Cost: ¥2,070,000)
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| Keywords | 超解像 / ナノ計測 / 微細機能構造 / コヒーレント結像 |
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| Outline of Research at the Start |
本申請研究は，バイオ分野で発展著しい螢光超解像技術をベースにして，原理的に螢光修飾が不要で製造現場適用が可能な新しい光学的超解像計測評価技術の実現を目指す．具体的には，実用性の高い超解像法として確立されてきた構造照明螢光顕微法（SIM）に着目し，位相同期を行った参照光波と融合することで，コヒーレント結像下においても超解像観察機能を発現可能な次世代微細機能構造の超解像欠陥計測技術の開発を目指す．
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| Outline of Final Research Achievements |
We focused on structural illumination microscopy (SIM), which has been developed as a highly practical super-resolution method, and aimed to establish a super-resolution defect measurement technique for next-generation microfunctional structures that enables super-resolution observation even under coherent imaging by combining it with phase-locked reference light waves. As a result, we have succeeded in developing a method for detecting microdefects in next-generation optical devices in which the amplitude is constant and only the phase fluctuates periodically.
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
研究成果により，VRゴーグル内の光学系に代表される，微細位相変調を活用する次世代光学デバイスの直接検査・評価が可能になる．これにより，スマホに匹敵するとされる，新しい技術デバイスの社会実装に大きく貢献することが期待される．
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Report
(4 results)
Research Products
(31 results)
