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Study on Nano-Surface Integrity Measurement of Machined Glass Component using Entangled Photon Probe

Research Project

Project/Area Number 19H02042
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
Research InstitutionOsaka University

Principal Investigator

Takaya Yasuhiro  大阪大学, 工学研究科, 教授 (70243178)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 水谷 康弘  大阪大学, 工学研究科, 准教授 (40374152)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2021)
Budget Amount *help
¥17,290,000 (Direct Cost: ¥13,300,000、Indirect Cost: ¥3,990,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,250,000 (Direct Cost: ¥2,500,000、Indirect Cost: ¥750,000)
Fiscal Year 2020: ¥7,410,000 (Direct Cost: ¥5,700,000、Indirect Cost: ¥1,710,000)
Fiscal Year 2019: ¥6,630,000 (Direct Cost: ¥5,100,000、Indirect Cost: ¥1,530,000)
Keywordsガラス加工表面 / ナノ・サーフェスインテグリティ / 仮想量子ドット / 量子もつれ光子プローブ / ドレスト光子フォノン / 予測型マイクロクラック計測 / フォトンメトロロジー / 加工計測 / ガラス加工表面マイクロクラック / 残留応力 / 後方散乱ラマン分光 / 量子もつれ光子
Outline of Research at the Start

ガラスは高強度材料であるが,製造工程において加工表面層に無数のマイクロクラックが発生し,それらが起点となって突然の破壊を引き起こすため,大きな問題となっている.加工条件を制御してマイクロクラックの生成を抑制し,その時間進展による破壊挙動を予測するためには,加工表面層におけるマイクロクラックの幾何学的形態と,そのナノ領域周辺における原子スケールの微視的構造や局所応力場の計測・解析が不可欠となる.そこで本研究は,新たな量子もつれ光子プローブの基本原理を確立し,ガラス加工表面層をナノ分解能で計測可能とするナノ・サーフェスインテグリティ計測・解析手法の実現をめざす.

Outline of Final Research Achievements

The purpose of this study is to establish a new fundamental principle of measurement for evaluating nano-surface integrity of a machined glass surface layer based on the mechanism of the interaction between dressed photons reflecting phonons and quantum entangled photons. The information on physical properties of microscopic structure/stress field as well as spatial distribution can be obtained from dressed photons and spatial distribution from quantum entangled photons respectively. As the achievements of this study, we constructed a unique confocal detecting Raman spectroscopy measurement system with the sensitivity of photons. Furthermore, the validity of the basic principle of the non-scanning phase shift interferometer using polarized quantum entangled photon pairs was verified, which is a method for detecting laser backscattered photons by microcracks in a machined glass surface layer and measuring the changes in the molecular structure with higher spatial resolution.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

非晶質構造をもつガラスは,結晶構造に基づいたクラック挙動モデルが利用できないため,光の量子効果による分子構造変化の測定原理の確立は,当該分野において先駆的な試みであり,本研究の学術的意義は極めて高い.本研究成果によってマイクロクラック近傍の局所応力評価が可能となれば,破壊挙動の高い予測精度によって,機械加工によって製造される高機能ガラス素子などの安全性・耐久性・信頼性が格段に向上し,他の硬脆材料評価法への大きな波及効果も期待できる.さらに,非破壊・高感度な本測定法と加工の融合によって,従来加工法の限界のブレークスルーやレーザーを用いたフォノン制御による新たなナノ微細加工原理への展開が拡がる.

Report

(4 results)
  • 2021 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2020 Annual Research Report
  • 2019 Annual Research Report
  • Research Products

    (13 results)

All 2022 2021 2020 2019

All Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 3 results,  Invited: 1 results)

  • [Presentation] 後方散乱光のラマン分光によるガラス加工表面におけるクラック周辺の分子構造変化の計測2022

    • Author(s)
      坂下初音, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 偏光量子もつれ光子対を用いた非走査型位相シフト干渉計(第一報) -偏光変調を用いた位相シフトの検討-2022

    • Author(s)
      家中乾大, 水谷康弘, 上野原努, 高谷裕浩
    • Organizer
      2022年度精密工学会春季大会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Residual stress measurement based on Raman spectroscopy of backscattered light from microcracks in machined glass surface layer - Raman spectroscopic study for stress measurement in the vicinity of an indentation crack2021

    • Author(s)
      Hatsune Sakashita, Tsutomu Uenohara, Yasuhiro Mizutani, and Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century (LEM21)
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 光後方散乱によるガラスのマイクロクラック計測2021

    • Author(s)
      高谷 裕浩
    • Organizer
      日本機械学会2021年度年次大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 量子もつれ光源を用いた表面形状と薄膜の同時計測 (量子もつれ光子の生成)2021

    • Author(s)
      家中 乾大, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • Organizer
      本機械学会2021年度年次大会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 後方散乱光のラマン分光によるガラス加工表面クラックの残留応力計測に関する基礎研究2021

    • Author(s)
      坂下 初音, 上野原 努, 水谷 康弘, 高谷 裕浩
    • Organizer
      2021年度砥粒加工学会学術講演会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 後方散乱光のラマン分光によるガラスマイクロクラック計測に関する研究2020

    • Author(s)
      坂下初音, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • Organizer
      日本機械学会関西学生会2019 年度学生員卒業研究発表講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] もつれ光子対を用いた表面形状計測の高分解能化に関する基礎研究2020

    • Author(s)
      家中乾太, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • Organizer
      日本機械学会関西学生会2019 年度学生員卒業研究発表講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 光後方散乱パターンの空間周波数解析に基づくガラス加工表面のマイクロクラック形状の評価2020

    • Author(s)
      並河峻佑, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • Organizer
      2020年度砥粒加工学会学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] Surface shape measurement by using entanglement photon state (the 2nd report) -interference and distance measurement-2020

    • Author(s)
      Zhang Congxian, 家中乾大, 上野原努, 水谷康弘, 高谷裕浩
    • Organizer
      2020年度精密工学会秋季大会学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] Measurement of microcrack on machined glass surface based on Fourier analysis of laser backscattering pattern2019

    • Author(s)
      Shunsuke Namikawa, Yasuhiro Mizutani, Genichiro Hagiwara, Satoshi Kawarabata, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      ASPEN2019
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 3D surface measurement for tens-nanometers-scale groove using entanglement photons2019

    • Author(s)
      Congxiang Zhang, Yasuhiro Mizutani, Yasuhiro Takaya
    • Organizer
      ASPEN2019
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 量子もつれフォトンを利用した新計測原理に関する基礎研究 -量子もつれ光源の開発と計測手法の提案-2019

    • Author(s)
      Congxiang Zhang, 水谷康弘,高谷裕浩
    • Organizer
      2019度精密工学会学術講演会秋季大会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report

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Published: 2019-04-18   Modified: 2023-01-30  

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