| Project/Area Number |
19H02045
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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| Allocation Type | Single-year Grants |
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| Section | 一般 |
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| Review Section |
Basic Section 18020:Manufacturing and production engineering-related
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| Research Institution | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology |
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Principal Investigator |
Yuichi Kurashima 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 研究グループ長 (70408730)
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| Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) |
松前 貴司 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (10807431)
柳町 真也 国立研究開発法人産業技術総合研究所, 計量標準総合センター, 上級主任研究員 (70358216)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2021)
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| Budget Amount *help |
¥17,420,000 (Direct Cost: ¥13,400,000、Indirect Cost: ¥4,020,000)
Fiscal Year 2021: ¥4,940,000 (Direct Cost: ¥3,800,000、Indirect Cost: ¥1,140,000)
Fiscal Year 2020: ¥5,460,000 (Direct Cost: ¥4,200,000、Indirect Cost: ¥1,260,000)
Fiscal Year 2019: ¥7,020,000 (Direct Cost: ¥5,400,000、Indirect Cost: ¥1,620,000)
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| Keywords | MEMS / 気密封止 / 接合 / 量子干渉 / 脱ガス / マイクロデバイス / 量子干渉効果 / ゲッター |
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| Outline of Research at the Start |
マイクロデバイスの高性能化には、デバイスが実装されている微小キャビティ内部の圧力を高精度に維持する必要がある。これまで気密封止接合された微小キャビティの気密性はキャビティ内部と外部の気体の流出入を評価するものがほとんどであった。微小キャビティ内部の圧力を評価する方法も提案されてはいるが、測定精度やドリフトが課題で微小なキャビティ内部の圧力変動を高精度に計測するに至っていない。そこで、本研究では量子干渉効果に基づくCPT共鳴現象により、気密封止接合された微小キャビティ内部の圧力変動を高精度に評価し、圧力を一定に担保できる気密封止接合技術の確立を図る。
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| Outline of Final Research Achievements |
We developed a hermetic sealing technique that minimizes pressure change due to degassing after encapsulation, and evaluated a pressure inside the cavity of a Cs gas cell by the CPT (coherent population trapping) resonance phenomenon based on quantum interference effects. As a result, it was found that Cs can be hermetically sealed at a high level. Although the CPT resonance frequency changed slightly, it was considered to be dominated by a collision shift temperature dependence rather than a collision shift pressure dependence. Therefore, it is important that the hermetic sealed cavity was measured in a high-precision thermostatic chamber for measurement of inside pressure more precisely.
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
キャビティの内部圧力を一定に担保できる気密封止接合技術及び量子干渉効果に基づくCPT共鳴現象を元にした封止性の評価は新原理や高性能なマイクロデバイスを実現する上で社会的意義があるだけでなく、封止接合のミクロのメカニズム解明や気密性の評価手法の追求は学術的意義があり、最終的には気体分子レベルでの気密性の評価につながると考えている。
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