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Development of ultra-high-temperature ceramic composite coatings with excellent oxidation resistance via high-speed chemical vapor deposition techniques

Research Project

Project/Area Number 19H02484
Research Category

Grant-in-Aid for Scientific Research (B)

Allocation TypeSingle-year Grants
Section一般
Review Section Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
Research InstitutionNational Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Principal Investigator

Katsui Hirokazu  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 主任研究員 (70610202)

Co-Investigator(Kenkyū-buntansha) 近藤 直樹  国立研究開発法人産業技術総合研究所, 材料・化学領域, 上級主任研究員 (50357050)
原田 勝可  名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 客員教授 (60552726)
Project Period (FY) 2019-04-01 – 2022-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2021)
Budget Amount *help
¥16,900,000 (Direct Cost: ¥13,000,000、Indirect Cost: ¥3,900,000)
Fiscal Year 2021: ¥3,770,000 (Direct Cost: ¥2,900,000、Indirect Cost: ¥870,000)
Fiscal Year 2020: ¥4,160,000 (Direct Cost: ¥3,200,000、Indirect Cost: ¥960,000)
Fiscal Year 2019: ¥8,970,000 (Direct Cost: ¥6,900,000、Indirect Cost: ¥2,070,000)
Keywords化学気相析出 / 超高融点 / 非酸化物 / コーティング / レーザー / 耐酸化性 / 炭窒化タンタル / ホウ素 / 非酸化物セラミックス / ジルコニウム炭窒化物 / 炭窒化ホウ素 / 高速成膜 / 複合材 / 炭化ケイ素
Outline of Research at the Start

本研究は、超高融点複合材の高速な化学気相成長技術を構築し、卓越した耐酸化性を有する超耐熱セラミックスコーティングを開発することを目的とする。初年度の2019年度は、高強度レーザーを援用した化学気相析出技術により遷移金属ホウ化物の高速コーティング技術を確立する。得られる高融点ホウ化物の単一相の気相成長技術に対し、炭化ケイ素との複合化を行い、均質で緻密な非酸化物系複合コーティング層の合成を目標とする。

Outline of Final Research Achievements

This study aimed to develop ultra-high-temperature boride ceramic coatings with the enhanced oxidation resistivity by a high-speed chemical vapor deposition technique. Coating layers of zirconium-based and boron-based non-oxides, such as zirconium carbonitride, boron carbonitride, boron-containing zirconium carbonitride, and those composites with silicon carbide, were deposited at high deposition rates by laser-assisted chemical vapor deposition using organic compound precursors. High-speed coatings of tantalum-based non-oxides, such as tantalum carbonitride, boron-containing tantalum carbonitride, and those composites with silicon carbide, were also demonstrated. The tantalum-based non-oxide layers exhibited superior oxidation resistance to the zirconium-based ones. The addition of boron and silicon carbides was supposed to enhance the durability of the coating layers under high-temperature oxidation environments.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

超高融点を持つ遷移金属系非酸化物セラミックス(Ultra-High-Temperature Ceramics: UHTC)は主に粉末冶金プロセスにより作製されたバルク材の研究開発が中心であったが、本研究では有機化合物を原料にした気相プロセスによりコーティング層の合成や複合化に成功し、従来のバルク材とは異なる構造や組成を明らかにした点は無機材料工学や薄膜工学の進展に貢献するものと考える。また、UHTCのコーティングは、構造部材として優位な炭素あ炭化ケイ素の繊維強化複合材へ適用可能であり、エンジンやリーディングエッジなど先進航空宇宙部材開発に資する技術になるものと期待できる。

Report

(4 results)
  • 2021 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2020 Annual Research Report
  • 2019 Annual Research Report
  • Research Products

    (15 results)

All 2021 2020 2019

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 1 results) Presentation (12 results) (of which Int'l Joint Research: 4 results,  Invited: 4 results) Patent(Industrial Property Rights) (1 results)

  • [Journal Article] Preparation of zirconium carbonitride by laser chemical vapor deposition using alkyl-amide precursor as a single source2020

    • Author(s)
      KATSUI Hirokazu、HARADA Katsuyoshi、KONDO Naoki、HOTTA Mikinori
    • Journal Title

      Journal of the Ceramic Society of Japan

      Volume: 128 Issue: 11 Pages: 855-862

    • DOI

      10.2109/jcersj2.20081

    • NAID

      130007934284

    • ISSN
      1348-6535, 1882-0743
    • Year and Date
      2020-11-01
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Preparation of boron carbon oxynitride phosphor film via laser chemical vapor deposition and annealing2020

    • Author(s)
      Katsui Hirokazu、Harada Katsuyoshi、Kondo Naoki、Hotta Mikinori
    • Journal Title

      Surface and Coatings Technology

      Volume: 394 Pages: 125851-125851

    • DOI

      10.1016/j.surfcoat.2020.125851

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 化学気相析出による耐環境性セラミックス複合層の作製2021

    • Author(s)
      且井 宏和
    • Organizer
      耐熱複合材料・コーティングの高度化に関する研究会 第3回 ワークショップ: 先端セラミックスプロセス
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 有機原料を用いた化学気相析出による酸炭窒化ホウ素膜の微細構造と光学特性2021

    • Author(s)
      且井 宏和
    • Organizer
      第34回秋季シンポジウム
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Coatings of zirconium-based non-oxides and composites by laser chemical vapor deposition2021

    • Author(s)
      H. Katsui, K. Harada, N. Kondo, M. Hotta
    • Organizer
      45th International Conference and Expo on Advanced Ceramics and Composites (ICACC2021)
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] Coatings of protective and functional ceramic layers by CVD techniques utilizing laser2021

    • Author(s)
      H. Katsui, M. Hotta
    • Organizer
      2nd Global Forum on Smart Additive Manufacturing, Design & Evaluation (Smart MADE2021)
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] 化学気相析出による耐熱性・機能性セラミックス層の作製と微細構造2021

    • Author(s)
      且井宏和
    • Organizer
      第73回CVD研究会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相析出によるセラミックコーティングの微細構造と機能2021

    • Author(s)
      且井宏和、堀田幹則
    • Organizer
      第3回表面改質技術研究委員会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] 走査型レーザー照射下での化学気相析出による炭化ケイ素の微細描画2020

    • Author(s)
      且井宏和、堀田幹則
    • Organizer
      日本セラミックス協会第33回秋季シンポジウム
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] 単一有機錯体原料を用いた炭化ジルコニウムの高速化学気相析出2020

    • Author(s)
      且井宏和、原田 勝可、堀田 幹則
    • Organizer
      第58回セラミックス基礎科学討論会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] 化学気相成長による炭窒化ホウ素膜の合成と蛍光特性2020

    • Author(s)
      且井宏和、原田 勝可、堀田 幹則
    • Organizer
      日本セラミックス協会 2020年年会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Ceramic coatings for high-temperature durable materials by chemical vapor deposition2019

    • Author(s)
      H. Katsui, N. Kondo, M. Hotta
    • Organizer
      1st Global Forum on Smart Additive Manufacturing, Design & Evaluation (Smart MADE)
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] エンジニアリングセラミックスの化学気相析出とコーティング形態制御2019

    • Author(s)
      且井宏和
    • Organizer
      2019 年度 エンジニアリングセラミックス若手セミナー
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Coatings of zirconium carbide and its composites by laser chemical vapor deposition using metal organic precursors2019

    • Author(s)
      H. Katsui, K. Harada, M. Hotta
    • Organizer
      PACRIM13
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Patent(Industrial Property Rights)] 無機被膜を有する被覆材及びその製造方法並びに製造装置2019

    • Inventor(s)
      且井宏和、原田勝可
    • Industrial Property Rights Holder
      且井宏和、原田勝可
    • Industrial Property Rights Type
      特許
    • Industrial Property Number
      2019-110850
    • Filing Date
      2019
    • Related Report
      2019 Annual Research Report

URL: 

Published: 2019-04-18   Modified: 2023-01-30  

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