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超小型電気光学デバイスの実現を目指した強誘電体薄膜のストレインエンジニアリング

Research Project

Project/Area Number 19J12654
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 21050:Electric and electronic materials-related
Research InstitutionOkayama University (2020)
Nagoya University (2019)

Principal Investigator

近藤 真矢  岡山大学, 自然科学研究科, 助教

Project Period (FY) 2019-04-25 – 2021-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2020)
Budget Amount *help
¥1,900,000 (Direct Cost: ¥1,900,000)
Fiscal Year 2020: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Fiscal Year 2019: ¥1,000,000 (Direct Cost: ¥1,000,000)
Keywords電気光学効果 / 強誘電体薄膜 / ドメイン / 歪み
Outline of Research at the Start

電気光学(EO)デバイスは光通信において光を変調する素子として利用されてきた。近年、デバイスの小型化や省エネルギー化などの観点で、強誘電体薄膜材料が注目されている。薄膜では基板拘束の影響で特性が大きく変化し、基板に拘束されないバルク材料と同等の特性を出すことが困難である。一方、薄膜では基板拘束の影響でバルクには現れない特有のドメイン構造(電気的な分極の配列)が存在する。そこで、本研究ではドメイン構造を歪みによって制御することで、バルクでは実現できないメカニズムによって薄膜のEO効果向上及び高速光通信応用の可能性を検討することを目的とする。

Outline of Annual Research Achievements

強誘電体のダイナミックかつ可逆的なドメインの再配向が電気光学(EO)効果に及ぼす影響を明らかにするために、強誘電体PbxZr1-xTiO3(PZT)薄膜のドメイン構造及びそのドメイン割合を薄膜に発生する歪みによって制御し、ダイナミックな電界下でのPZT薄膜の強弾性ドメインがEO特性に及ぼす影響を評価した。本年度は、以下の点で進捗があった。
・強誘電体のドメイン構造を考慮してEO効果の再測定を行った。この実験から異なる配向の膜を対等に比較することが可能となり、ドメイン構造の影響を加味したEO応答が明らかになった。
PZTのEO特性についてはバルク単結晶のデータが無く、本研究結果とシングルドメイン構造との比較ができていなかった。そこで、
・CaF2(001)基板上で適切なバッファー層を用いることで、x = 0.35の正方晶組成及びx = 0.7の菱面体晶組成のシングルドメインPZT膜を作製した。これらのPZT膜のEO特性の評価を行い、同組成のシングルドメインPZTで初めてEO係数が明らかになった。また、これらの結果や理論予測の値と比較することで、これまでの多くの文献値のEO係数は、組成による内因的なEO効果の増大だけでは説明できず、外因的なEO効果の影響が非常に大きいことが示唆された。
・前年度に得られた結果の解析をより詳細に行った。特に、圧電応答顕微鏡の測定結果から圧電振幅と位相の情報を詳細に解析することで、強弾性ドメインのドメインスイッチングの様相がより鮮明になった。
このように、これらの研究結果は電場によって動的にドメインスイッチングを起こすことで、膜全体の屈折率が動的に変化し、EO効果が向上したことを示唆しており、本研究課題の目的を達成できたと考えている。

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2020 Annual Research Report
  • 2019 Annual Research Report
  • Research Products

    (8 results)

All 2021 2020 2019

All Journal Article (1 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Peer Reviewed: 1 results) Presentation (6 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results) Book (1 results)

  • [Journal Article] Large Impact of Strain on the Electro-optic Effect in (Ba, Sr)TiO3 Thin Films: Experiment and Theoretical Comparison2019

    • Author(s)
      S. Kondo, T. Yamada, A. K. Tagantsev, P. Ma, J. Leuthold, P. Martelli, P. Boffi, M. Martinelli, M. Yoshino, and T. Nagasaki
    • Journal Title

      Applied Physics Letters

      Volume: 115 Issue: 9

    • DOI

      10.1063/1.5117218

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Int'l Joint Research
  • [Presentation] シングルドメインPb(Zr, Ti)O3薄膜の電気光学効果2021

    • Author(s)
      近藤 真矢, 山田 智明, 吉野 正人, 岸本 昭, 寺 西 貴志, 長崎 正雅
    • Organizer
      応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] エピタキシャルHfO2基強誘電体薄膜の電気光学特性2021

    • Author(s)
      近藤 真矢, 志村 礼司郎, 舟窪 浩, 寺西 貴志, 岸本 昭, 山田 智明
    • Organizer
      強誘電体応用会議
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] エピタキシャルPb(Zr, Ti)O3薄膜の配向及び晶系が電気光学特性に与える影響2019

    • Author(s)
      近藤 真矢, 山田 智明, 吉野 正人, 長崎 正雅
    • Organizer
      強誘電体応用会議FMA-36
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] エピタキシャル強誘電体薄膜における歪みとドメイン構造が電気光学特性に与える影響2019

    • Author(s)
      近藤 真矢, 山田 智明, 吉野 正人, 長崎 正雅
    • Organizer
      第39回電子材料研究討論会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] エピタキシャル菱面体晶Pb(Zr, Ti)O3薄膜のドメインスイッチングが電気光学特性に与える影響2019

    • Author(s)
      近藤 真矢, 山田 智明, 坂田 修身, 吉野 正人, 長崎 正雅
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] AC Field Dependence of Electro-optic Property in Epitaxial Pb(Zr, Ti)O3 Thin Films2019

    • Author(s)
      S. Kondo, T. Yamada, M. Yoshino, and T. Nagasaki
    • Organizer
      The 13th Pacific Rim Conference of Ceramic Societies (PACRIM13)
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Book] 超音波TECHN2020

    • Author(s)
      近藤真矢, 山田智明, 吉野正人, 長崎正雅
    • Total Pages
      6
    • Publisher
      日本工業出版(株)
    • Related Report
      2020 Annual Research Report

URL: 

Published: 2019-05-29   Modified: 2024-03-26  

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