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光侵入長を制御したフェムト秒レーザーアブレーションによる次世代金属表面加工の研究

Research Project

Project/Area Number 19J14818
Research Category

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

Allocation TypeSingle-year Grants
Section国内
Review Section Basic Section 26050:Material processing and microstructure control-related
Research InstitutionKyoto University

Principal Investigator

古川 雄規  京都大学, 理学研究科, 特別研究員(DC2)

Project Period (FY) 2019-04-25 – 2021-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2020)
Budget Amount *help
¥1,700,000 (Direct Cost: ¥1,700,000)
Fiscal Year 2020: ¥800,000 (Direct Cost: ¥800,000)
Fiscal Year 2019: ¥900,000 (Direct Cost: ¥900,000)
Keywords金属表面加工 / フェムト秒レーザー / 光学特性 / 時空間分解測定 / 光侵入長 / 吸収係数 / ポンプ-プローブ測定 / レーザーパルス列照射 / チタン / 白金
Outline of Research at the Start

フェムト秒レーザーパルスが金属に照射されるとアブレーション(融解などを伴う表面剥離、飛散現象)により表面にナノ構造が形成される。金属表面の光侵入長、反射率などがこのナノ構造の形状を特徴づける重要な光学物性であると考えられている。本研究では、ナノ構造形成メカニズムの理解とナノ構造形状の制御性向上を目的として、これらの光学物性の時間変化測定を行う。
さらに、レーザー照射条件と光学物性の時間変化を関連づけるデータベースを構築し、レーザー照射により金属表面の光学物性を能動的に制御した次世代金属表面加工の実現を目指す。

Outline of Annual Research Achievements

本研究では、フェムト秒レーザー列(第1レーザー、第2レーザー)照射による金属表面加工の物理過程を明らかにすることを目的として、第1レーザーが照射された金属標的表層における光学的な特性の時間発展を測定する新たな手法を提案し、主にチタン標的について測定を実施した。
採用第一年目は、第1レーザーが照射されたチタン標的表層の「光侵入長」を測定する手法を提案し、第1, 2レーザーの間隔が100psであるときに光侵入長がレーザー未照射チタンの光侵入長よりも減少することを明らかにした。
採用第二年目は、「光侵入長」という特性が「吸収係数」という特性の逆数であることに着目し、採用第一年目に提案した『光侵入長を求める手法』を改良することで、第1レーザー照射により変化したチタン表層の『過渡的な吸収係数の深さ分布を求める手法』を提案した。この新手法により、レーザー間隔0.3~1000psにかけての第1レーザー照射による吸収係数分布の変化を初めて明らかにした。レーザーが照射された金属標的表層の光学特性の深さ分布を測定する手法は今までになく、本研究により吸収係数の深さ分布測定法が提案されたことで、これまで数値計算などでしか考察できなかった物質の(表面だけでなく空間的な)時間発展の解明が進展すると期待される。
本研究の実験結果を複数の学会および学会プロシーディングにおいて発表した。本研究の重要性が認められた成果として、複数の学会(日本物理学会、応用物理学会)で優秀発表賞を受賞した。
さらに、第2レーザーの波長を二倍波に変えた実験を実施するための装置を購入し、実験光学系をデザインした。実験の実施、および成果発表は次年度(2021年度)に引き継ぐことになるが、二倍波レーザーを用いた実験により、金属表面加工の物理過程がより詳細に考察できると期待される。

Research Progress Status

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Strategy for Future Research Activity

令和2年度が最終年度であるため、記入しない。

Report

(2 results)
  • 2020 Annual Research Report
  • 2019 Annual Research Report
  • Research Products

    (16 results)

All 2021 2020 2019

All Journal Article (3 results) (of which Peer Reviewed: 2 results) Presentation (13 results) (of which Int'l Joint Research: 5 results,  Invited: 1 results)

  • [Journal Article] Temporal change in laser penetration length of titanium and platinum for double-pulse ablation measured by a novel ablation method2021

    • Author(s)
      Furukawa Yuki、Inoue Shunsuke、Hashida Masaki
    • Journal Title

      Journal of Laser Applications

      Volume: 33 Issue: 1 Pages: 012023-012023

    • DOI

      10.2351/7.0000325

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Journal Article] Dynamics of titanium ablation suppression induced by below-ablation-threshold femtosecond laser pulse irradiation2021

    • Author(s)
      Furukawa Yuki、Inoue Shunsuke、Hashida Masaki
    • Journal Title

      Proceedings of SPIE

      Volume: 11673 Pages: 22-22

    • DOI

      10.1117/12.2577962

    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Journal Article] Optical properties of titanium induced by below-ablation-threshold irradiation2020

    • Author(s)
      Furukawa Yuki、Hashida Masaki、Kojima Sadaoki、Inoue Shunsuke、Sakabe Shuji
    • Journal Title

      Applied Surface Science

      Volume: 515 Pages: 146047-146047

    • DOI

      10.1016/j.apsusc.2020.146047

    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] ダブルパルスレーザーアブレーションによるチタン表層の吸収係数分布測定法の提案2021

    • Author(s)
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • Organizer
      レーザー学会学術講演会 第41回年次大会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] Dynamics of titanium ablation suppression induced by below-ablation-threshold femtosecond laser pulse irradiation2021

    • Author(s)
      Yuki Furukawa, Shunsuke Inoue, Masaki Hashida
    • Organizer
      Photonics WEST Lase 2021
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] 加工閾値以下のフェムト秒レーザーが照射されたチタン表層の吸収係数分布変化の測定2021

    • Author(s)
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • Organizer
      日本物理学会 第76回年次大会(春季)
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザー照射チタン表層の吸収係数深さ分布のアブレーションによる測定2021

    • Author(s)
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • Organizer
      第68回応用物理学会 春季学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Invited
  • [Presentation] アブレーション閾値以下のフェムト秒レーザー照射によるチタン表面光侵入長の減少2020

    • Author(s)
      古川 雄規、井上 峻介、橋田 昌樹
    • Organizer
      第81回応用物理学会 秋季学術講演会
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
  • [Presentation] Temporal change in laser penetration length of titanium and platinum for double-pulse ablation measured by a novel ablation method2020

    • Author(s)
      Yuki Furukawa, Shunsuke Inoue, Masaki Hashida
    • Organizer
      ICALEO2020: the International Congress on Applications of Lasers & Electro-Optics
    • Related Report
      2020 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] アブレーション閾値フルーエンス以下のフェムト秒レーザー照射チタン表面の光学特性2020

    • Author(s)
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • Organizer
      レーザー学会学術講演会 第40回年次大会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザー閾値以下予備照射を用いたチタン表面加工に関する新奇光学ダイナミクス2020

    • Author(s)
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • Organizer
      第17回赤外放射関連応用学会年会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] フェムト秒レーザー閾値以下予備照射によるチタン表面光学特性の時間変化2020

    • Author(s)
      古川雄規、橋田昌樹、井上峻介、阪部周二
    • Organizer
      第67回応用物理学会春季学術講演会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
  • [Presentation] Temporal Change of the Optical Properties of Titanium Surface Irradiated by Femtosecond-Laser Pulses2019

    • Author(s)
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • Organizer
      The 8th Advanced Lasers and Photon Sources in OPTICS & PHOTONICS International Congress 2020
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Optical properties for femtosecond laser ablation of pre-irradiated titanium2019

    • Author(s)
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • Organizer
      INTERNATIONAL SYMPOSIUM “FUNDAMENTALS OF LASER ASSISTED MICRO- AND NANOTECHNOLOGIES”
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] Change of Optical Properties Causing Suppression of Ablation for Titanium by Pre-irradiation of Femtosecond Laser2019

    • Author(s)
      Yuki Furukawa、Sadaoki Kojima、Shunsuke Inoue、Masaki Hashida、Shuji Sakabe
    • Organizer
      15th International Conference on laser Ablation
    • Related Report
      2019 Annual Research Report
    • Int'l Joint Research
  • [Presentation] アブレーション閾値フルーエンス以下に調整された第一パルスを用いたフェムト秒レーザーダブルパルス照 射によるチタンアブレーションの抑制2019

    • Author(s)
      古川雄規、井上峻介、橋田昌樹、阪部周二
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2019 Annual Research Report

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Published: 2019-05-29   Modified: 2024-03-26  

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