ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜メカニズムの解明と高速・大面積除膜技術の開発
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19K04349
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 一般 |
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| Review Section |
Basic Section 21010:Power engineering-related
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| Research Institution | Kochi National College of Technology |
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Principal Investigator |
谷本 壮 高知工業高等専門学校, ソーシャルデザイン工学科, 准教授 (60582765)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2024-03-31
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| Project Status |
Granted (Fiscal Year 2022)
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| Budget Amount *help |
¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000)
Fiscal Year 2021: ¥130,000 (Direct Cost: ¥100,000、Indirect Cost: ¥30,000)
Fiscal Year 2020: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
Fiscal Year 2019: ¥2,600,000 (Direct Cost: ¥2,000,000、Indirect Cost: ¥600,000)
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| Keywords | 酸素プラズマ / ダイヤモンドライクカーボン / 除膜 / ダイヤモンドライクカーボン膜 |
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| Outline of Research at the Start |
工具や金型等の保護膜等に用いられているダイヤモンドライクカーボン（DLC）膜は，使用頻度の増加や経年劣化等により劣化し，劣化した工具の多くは廃棄される。そのため，環境負荷低減やコスト削減の観点から製造・利用現場では，DLC膜のみを取除き母材を再利用したいといった要望がある。本研究では，母材の再利用を目指し酸素プラズマを用いDLC膜の除膜を行う。また，DLC膜は，密度や水素含有量等の違いにより膜種が異なるため各膜種に対する除膜メカニズムの解明を目指し，最適な除膜条件を探る。さらに，低コスト，高速処理かつ大面積処理可能な除膜技術の開発を目指す。
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| Outline of Annual Research Achievements |
ダイヤモンドライクカーボン膜は，高硬度，耐摩耗性等の優れた特徴をもち，機械部品，自動車部品，工具や金型等の保護膜などに用いられている。保護膜に用いられているダイヤモンドライクカーボン膜は，使用頻度の増加や長期利用に伴い劣化する。このようにダイヤモンドライクカーボン膜の劣化，経年劣化品等からダイヤモンドライクカーボン膜のみを母材から取り除き，母材を再利用したいといった要望がある。本研究では，ダイヤモンドライクカーボン膜を取り除く方法として酸素プラズマに着目し，ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜を試みる。そして，ダイヤモンドライクカーボン膜の除膜メカニズムの解明，除膜技術の開発を目指している。
本年度は，新しく立ち上げを行っている除膜装置を用い，酸素プラズマの計測（発光の様子および発光スペクトルの計測）およびダイヤモンドライクカーボン膜の除膜を行った。酸素プラズマは，酸素ガスの流量および除膜装置内の真空度を変化させ，除膜装置内の酸素ガス量の調整を行い生成した。酸素ガスの流量を固定し，真空度を低くすることにより酸素プラズマの発光強度は強くなり，また発光スペクトルより酸素プラズマによる発光を確認した。
酸素ガス流量および除膜装置内の真空度を変化させダイヤモンドライクカーボン膜の除膜を行った。除膜に使用したダイヤモンドライクカーボン膜は，ta-C膜およびa-C:H膜の2種類用いた。除膜時間を増加によりダイヤモンドライクカーボン膜のエッチング厚さは増加した。本研究で行った条件では，酸素ガス流量および真空度によらず除膜速度の違いに大きな差は見られなかった。ダイヤモンドライクカーボン膜の膜種の違いにより除膜速度の違いは計測された。
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| Current Status of Research Progress |
Current Status of Research Progress
4: Progress in research has been delayed.
Reason
コロナウィルス感染症の影響の他，研究外の用務量の増大などの研究環境の悪化に伴い，研究にさけるエフォートが大きく減少した。また，研究を進めるにあたり計測に必要な物品等の購入について検討する必要があり再度選定等に時間を要しており遅れている。
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| Strategy for Future Research Activity |
新しく立ち上げを行っている除膜装置を用い，除膜速度の向上に向け酸素プラズマについて再度評価するとともに，除膜時等のイオン種等の計測を行い除膜メカニズムの解明を目指す。
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Report
(4 results)
Research Products
(2 results)
