A Study on High-Resolution Micro-Focus X-ray Devices Using Nanostructured Electron Sources
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19K04530
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| Research Category |
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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| Allocation Type | Multi-year Fund |
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| Section | 一般 |
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| Review Section |
Basic Section 21060:Electron device and electronic equipment-related
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| Research Institution | Shizuoka University |
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Principal Investigator |
MOON Jonghyun 静岡大学, 電子工学研究所, 助教 (30514947)
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| Project Period (FY) |
2019-04-01 – 2022-03-31
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| Project Status |
Completed (Fiscal Year 2021)
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| Budget Amount *help |
¥4,290,000 (Direct Cost: ¥3,300,000、Indirect Cost: ¥990,000)
Fiscal Year 2021: ¥1,040,000 (Direct Cost: ¥800,000、Indirect Cost: ¥240,000)
Fiscal Year 2020: ¥780,000 (Direct Cost: ¥600,000、Indirect Cost: ¥180,000)
Fiscal Year 2019: ¥2,470,000 (Direct Cost: ¥1,900,000、Indirect Cost: ¥570,000)
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| Keywords | 子デバイスおよび電子機器関連 / MEMS・NEMS / マイクロフォーカスエックス線 / 転写モールド法エミッタ作製方法 / 電子デバイスおよび電子機器関連 / ＭＥＭＳ・ＮＥＭＳ / X線 / マイクロフォーカスエックス線源 |
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| Outline of Research at the Start |
均一性に優れた先鋭なμmからnmサイズの微細構造作製が容易なマイクロエレクトロメカニカルシステム技術の一種、独自の転写モールド法を用いることで、電子放出面積の可変や電子放出点などを可変で、エックス線ビームフォーカスが決める、極微小電子放射源を用い超高精細・高分解能のエックス線発生源を開発する。
低仕事関数・高化学安定性のあるアモルファスカーボン等をエミッタ材料とし、フォーカス電極付き電流電圧特性計測システムを用いてエックス線出力安定性・均一性等との関係を究明し、焦点サイズが数μmレベルの半導体検査や医療診断分野用次世代高分解能マイクロフォーカスエックス線源の基礎研究の礎石を築く。
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| Outline of Final Research Achievements |
Stable and high-resolution micro-focus X-ray devices have been developed by using nanostructured electron sources and Transfer Mold emitter fabrication method to realize highly efficient and high-resolution x-ray sources. Nanostructured Transfer Mold emitter arrays have the base-length, emitter-tip size and emission current fluctuations of as low as 41 nm, 2.8 nm, and 1.3%, respectively. Moreover, extremely stable and high-resolution micro-focus X-ray devices have as low as stability of 1% and microlevel focal size.
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| Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements |
高安定性・数十μmレベルの焦点サイズを持つナノ微細構造電界放出アレイを用いた高分解能マイクロフォーカスエックス線源の基礎研究により、先進的医療機器の創出の可能性を秘めており、医学と工学の発展に寄与するという学術的・学際的に大きな意義がある。
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Report
(4 results)
Research Products
(10 results)
