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Creation of Silicon Nanowire Biosensor with Attomolar(aM) Sensitivity for Early Diagnosis of Infectious Disease

Research Project

Project/Area Number 19K23598
Research Category

Grant-in-Aid for Research Activity Start-up

Allocation TypeMulti-year Fund
Review Section 0403:Biomedical engineering and related fields
Research InstitutionGunma University

Principal Investigator

Zhang Hui  群馬大学, 大学院理工学府, 助教 (80794586)

Project Period (FY) 2019-08-30 – 2022-03-31
Project Status Completed (Fiscal Year 2021)
Budget Amount *help
¥2,860,000 (Direct Cost: ¥2,200,000、Indirect Cost: ¥660,000)
Fiscal Year 2020: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Fiscal Year 2019: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000)
Keywordsシリコンナノワイヤ / バイオセンサ / 細線化 / 電子線描画 / 高感度 / 医用システム / 検査・診断システム / シリコンナノワイヤバイオセンサ / 電子線リソグラフィ / 構造最適化 / 高感度化 / マイクロ流体チップ / 超高感度シリコンナノワイヤバイオセンサ / 多機能型マイクロ流体チップ / 多チャンネル同時計測 / 感染症の早期診断 / 電子デバイス・機器 / 多機能マイクロ流体チップ
Outline of Research at the Start

本研究では、ウイルス感染初期に体液中のウイルスを低侵襲かつ高感度に検出するため、サブaM感度のシリコンナノワイヤ(SiNW)バイオセンサシステムの創製を目的とする。具体的には、(1) SiNWバイオセンサの高感度化を実現するため、幅10 nm以下のSiNWバイオセンサを作製する。(2)ゲート電圧印加によるチャネル制御性を向上させるため、SiNW内部の不純物濃度及びSiNW周囲の絶縁膜厚を最適化する。(3)検体溶液中の夾雑物を除去するため、多機能マイクロ流体チップを開発する。(4)ウイルスを検出するため、SiNWセンサの表面修飾法及び連続計測システムを構築する。

Outline of Final Research Achievements

To detect biomolecules with high sensitivity in the early stage of virus infection, we investigated the sensitivity dependence of width and impurity concentration of Si nanowires (NW) in both theoretical analysis and experiments. By controlling the conditions of electron beam lithography and reactive ion etching, ultra-thin SiNW with a width of 11 nm was fabricated and succeeded in detecting immunoglobulin G(IgG) with a concentration of 6 aM by antigen-antibody specific binding. From the results of IgG detection using SiNWs of different widths, it was demonstrated that the detection sensitivity was significantly improved associated with the thinning of NW. In addition, it was confirmed that the detection sensitivity was increased by reducing the impurity concentration of SiNW.

Academic Significance and Societal Importance of the Research Achievements

ウイルス感染症の広がりにより、感染初期段階での極微量な生体分子を高感度かつ迅速に検出できる診断法の開発が渇望されている。PCR法は低濃度物質の高精度検出が可能だが、測定に時間と労力がかかってしまう。本研究では、理論解析にて高感度化につながる要素を分析し、ナノ微細加工技術で細線化と不純物濃度を低減したSiNWバイオセンサを作製することで濃度6 aMの免疫グロブリンG(IgG)の特異的検出に成功した。極微量な生体分子の検出が可能となったこの研究成果により、将来、画期的な疾病の早期診断技術を社会に提供できると考えている。

Report

(4 results)
  • 2021 Annual Research Report   Final Research Report ( PDF )
  • 2020 Research-status Report
  • 2019 Research-status Report
  • Research Products

    (11 results)

All 2021 2020 2019 Other

All Journal Article (2 results) (of which Peer Reviewed: 2 results,  Open Access: 1 results) Presentation (4 results) (of which Int'l Joint Research: 1 results,  Invited: 1 results) Remarks (5 results)

  • [Journal Article] Formation of 7-nm-wide Line&Spaces in Half Pitch by 3 Dimensional Self-assembly of Nano-dots Using Sphere Type PS-PDMS2021

    • Author(s)
      Sumio Hosaka, Takashi Akahane, Kazumasa Ohyama, Hui Zhang, You Yin, and Hayato Sone
    • Journal Title

      European Journal of Applied Physics

      Volume: 3 Issue: 6 Pages: 84-90

    • DOI

      10.24018/ejphysics.2021.3.6.141

    • Related Report
      2021 Annual Research Report
    • Peer Reviewed / Open Access
  • [Journal Article] Design and Fabrication of Silicon Nanowire-Based Biosensors with Integration of Critical Factors: Toward Ultrasensitive Specific Detection of Biomolecules2020

    • Author(s)
      Zhang Hui、Kikuchi Naoki、Ohshima Noriyasu、Kajisa Taira、Sakata Toshiya、Izumi Takashi、Sone Hayato
    • Journal Title

      ACS Applied Materials & Interfaces

      Volume: 12 Issue: 46 Pages: 51808-51819

    • DOI

      10.1021/acsami.0c13984

    • Related Report
      2020 Research-status Report
    • Peer Reviewed
  • [Presentation] 電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価2021

    • Author(s)
      邱 亜威, 新井 出海, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人
    • Organizer
      量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] 高感度Siナノワイヤバイオセンサ作製のための最適なドーピング濃度の探求2021

    • Author(s)
      新井 出海, 邱 亜威, 板橋 芽比子, 大澤 郁弥, 大嶋 紀安, 和泉 孝志, 張 慧, 曾根 逸人
    • Organizer
      量子生命科学先端フォーラム 2021冬の研究会
    • Related Report
      2021 Annual Research Report
  • [Presentation] Fabrication of Ultrahigh-Sensitivity Silicon Nanowire Biosensor by CMOS-Compatible Process for Detecting Biomolecules at Low Concentrations2019

    • Author(s)
      H. Zhang, K. Okabe, N. Kikuchi, N. Ohshima, T. Kajisa, T. Sakata, T. Izumi and H. Sone
    • Organizer
      Inter. Conf. on Mechanical, Electrical and Medical Intelligent System 2019
    • Related Report
      2019 Research-status Report
    • Int'l Joint Research / Invited
  • [Presentation] シリコンナノワイヤ細線化によるバイオセンサ検出感度の評価2019

    • Author(s)
      張慧,岡部圭, 菊池直樹, 大嶋紀安, 加治佐平, 坂田利弥, 和泉孝志,曾根逸人
    • Organizer
      第80回応用物理学会秋季学術講演会
    • Related Report
      2019 Research-status Report
  • [Remarks] Research map

    • URL

      https://researchmap.jp/huizhang/presentations

    • Related Report
      2020 Research-status Report
  • [Remarks] 群馬大学研究紹介へ―時

    • URL

      http://research.st.gunma-u.ac.jp/ei_cho_e/

    • Related Report
      2020 Research-status Report
  • [Remarks] 群馬大学理工学府ニュースに掲載された記事

    • URL

      https://www.st.gunma-u.ac.jp/20201203-eisonezhang/

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      2020 Research-status Report
  • [Remarks] https://researchmap.jp/huizhang/presentations

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      2019 Research-status Report
  • [Remarks] http://research.st.gunma-u.ac.jp/ei_cho_e/

    • Related Report
      2019 Research-status Report

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Published: 2019-09-03   Modified: 2023-01-30  

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