Cylinder rod surface coating using sputtering deposition method with modulated magnetic field

• Project/Area Number: 20340164
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Plasma science
• Research Institution: Sasebo National College of Technology
• Principal Investigator: KAWASAKI Hiroharu Sasebo National College of Technology, 電気電子工学科, 教授 (10253494)
• Co-Investigator(Renkei-kenkyūsha): OHSHIMA Tamiko 佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (00370049) ; YAGYU Yoshihito 佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 准教授 (40435483) ; SUDA Yoshiaki 佐世保工業高等専門学校, 電気電子工学科, 教授 (20124141) ; JOHNO Yuuki 佐世保工業高等専門学校, 物質工学科, 准教授 (80353233)
• Project Period (FY): 2008 – 2010
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2010)
• Budget Amount: ¥10,920,000 (Direct Cost: ¥8,400,000、Indirect Cost: ¥2,520,000); Fiscal Year 2010: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2009: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2008: ¥8,320,000 (Direct Cost: ¥6,400,000、Indirect Cost: ¥1,920,000)
• Keywords: マグネトロンスパッタリング / ハードコーティング / 変調磁界 / 3相交流磁界 / スパッタリング / プラズマプロセス / 摩擦係数 / 耐摩耗

Research Abstract

Tungsten, carbon and titanium thin films were prepared on the carbide steel cylinder rod using new magnetron sputtering deposition method to prevent their corrosion and/or increasing friction resistance. In the deposition, plasmas were generated between cylinder rod anode substrate and cylinder pipe targets. Experimental results suggest that plasma density distribution move to the axial direction using modulated magnetic field generated by low frequency alternating coil current. Deposition rate and film uniformity increased using modulated magnetic field, and corrosion resistance and friction resistance were increased by this hard coating.

Research Products

• [Journal Article] Educational effects of overseas factory tour in china from 2007 to 2009 (2011)
  • Author(s): Y.Yagyu, K.Yoshida, Y.Hara, Y.Nagashima, T.Furukawa, Y.Nanbu, K.Mitsuhashi, H.Kawasaki, Y.Suda
  • Journal Title: Proc.of International Symposium on Advances in Technology Education Volume: Vol.35[1](In press)
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Preparation of carbon nanotube on metal nanodots substrate for gas sensor (2011)
  • Author(s): H.Kawasaki, T.Kanazawa, S.Aoqui, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Transactions of the Materials Research Society of Japan Volume: Vol.36[1](In press)
  • NAID: 130003398996
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Trasactions of the Materials Research Society of Japan (2010)
  • Author(s): Yoshihito YAGYU, Akira HIKITA, Nobuya HAYASHI, Hiroharu KAWASAKI,Tamiko OHSHIMA, Yoshiaki SUDA
  • Journal Title: Vol.35[1] Pages: 119-122
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] (2010)
  • Author(s): Takeaki Matsunaga, Tamiko Ohshima, Hiroharu Kawasaki, Tatsuya Kaneko, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys. 49
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Cylinder rod surfac coating using sputtering deposition metho with modulated magnetic field (2010)
  • Author(s): Hiroharu KAWASAKI, Katsuki SHIBAHARA, Tamiko OHSHIMA, Yoshihito YAGYU, Yoshiaki SUDA
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys. 49
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Studies on allergic substance elimination by RF plasma treatment (2010)
  • Author(s): Y.Yagyu, A.Hikita, N.Hayashi, H. Kawasaki, T.Ohshima, Y.Suda
  • Journal Title: Transactions of the Materials Research Society of Japan Volume: Vol.35[1] Pages: 119-122
  • NAID: 130003398863
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target (2010)
  • Author(s): T.Matsunaga, T.Ohshima, H.Kawasaki, T.Kaneko, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys. Volume: Vol.49
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Cylinder rod surface coating using sputtering deposition method with modulated magnetic field (2010)
  • Author(s): H.Kawasaki K.Shibahara, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys. Volume: Vol.49
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Growth Simulation of Carbon Nanotubes in liquid Helium using Molecular Dynamics (2009)
  • Author(s): Y.Johno, T.Shigematsu, H.Kawasaki, K.Nakashima, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Trasactions of the Materials Research Society of Japan Vol.33 Pages: 964-968
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Influence of Calcium Hydroxide Solution in RF Plasma on Sterilization of Bacterial Spores (2009)
  • Author(s): W.Guan, H.Kawasaki, T.Ohshima, Y.Yagyu, T.Shigematsu, Y.Suda
  • Journal Title: J.Plasma Fusion Res.SERIES Vol.8 Pages: 573-577
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Influence of Atomic and Singlet Molecular Oxygen Generated by RF Plasma on Reduction of Protein (2009)
  • Author(s): Y.Yagyu, N.Hayashi, W.Guan, H.Kawasaki, T.Ohshima, Y.Suda
  • Journal Title: J.Plasma Fusion Res.SERIES Vol.8 Pages: 578-581
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] The Crystalization Of Carbon Nanotubes In Liquid Helium (2009)
  • Author(s): T.Shigematsu, H.Kawasaki, Y.Johno, T.Ohshima, Y.Yagyu, W.Guan, Y.Suda
  • Journal Title: J.Plasma Fusion Res.SERIES Vol.8 Pages: 599-602
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Preparation of WO_3 Thin Films for Electrochromic Display by Plasma Process (2009)
  • Author(s): H.Kawasaki, T.Matsunaga, W.Guan, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: J.Plasma Fusion Res.SERIES Vol.8 Pages: 1431-1434
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 変調磁界を用いたスパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁成膜 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴、柴原克樹、須田義昭、大島多美子、柳生義人
  • Journal Title: 佐世保工業高等専門学校研究報告 第46号 Pages: 5-8
  • NAID: 110007468631
• [Journal Article] Study on the behavior of the Plasma Plume and Film Quality using Pulsed Laser Deposition with Tungsten Target (2009)
  • Author(s): H.Kawasaki, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Trasactions of the Materials Research Society of Japan Vol.34(In press)
  • NAID: 130007809546
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Cylinder rod surface coating using sputtering deposition method with modulated magnetic field (2009)
  • Author(s): H.Kawasaki, K.Shibahara, T.Ohshima, Y.Yagyu, Y.Suda
  • Journal Title: Jpn.J.Appl.Phys (In press)
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Characteristics of tungsten oxide thin films prepared on the flexible substrates using pulsed laser deposition (2008)
  • Author(s): Yoshiaki Suda, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyuu
  • Journal Title: Thin Solid Films Vol. 516 No. 13 Vol. 829 Pages: 4397-4401
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] TiO2/TiN/TiO2 heat mirrors by laser ablation of single TiN target (2008)
  • Author(s): H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyu, Y. Suda, S. I. Khartsev, A. M. Grishin
  • Journal Title: Journal of Physics : Conference Series Vol. 100 Pages: 12038-12041
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Tailoring optical properties of pulsed laser deposited TiO2 films (2008)
  • Author(s): D. Dzibrou, A. M. Grishin, H. Kawasaki, Y. Suda, V. Pankov
  • Journal Title: Journal of Physics : Conference Series Vol. 100 Pages: 82035-82038
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Fundamental Studies on Effect of Ozone Injection to the Internal-Combustion Engine-FTIR Spectrum of Hydrocarbon Compound Reformulated by Ozone- (2008)
  • Author(s): Y. Yagyu, N. Hayashi, H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Suda, S. Baba
  • Journal Title: Journal of Physics : Conference Series Vol. 100 Pages: 62015-82018
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Pulsed laser deposited TiO2 films : Tailoring optical properties (2008)
  • Author(s): D. Dzibrou, A. M. Grishin, H. Kawasaki
  • Journal Title: Thin Solid Films Vol. 516 Pages: 8697-8700
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Study on the behavior of the Plasma Plume and Film Quality using Pulsed Laser Deposition with Tungsten Target (2008)
  • Author(s): H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyuu, Y. Suda
  • Journal Title: Thin Solid Films Vol. 33[3] Pages: 655-658
  • NAID: 130007809546
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Experiments of Creating Carbon Nanotubes in Liquid Helium (2008)
  • Author(s): T. Shigematsu, T. Nishimoto, H. Kawasaki, Y. Johno, T. Ohshima, S. Suetake
  • Journal Title: Trasactions of the Materials Research Society of Japan Vol. 33[4] Pages: 961-964
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Study on the behavior of the Plasma Plume and Film Quality using Pulsed Laser Deposition with Tungsten Target (2008)
  • Author(s): H. Kawasaki, T. Ohshima, Y. Yagyuu, Y. Suda
  • Journal Title: Thin Solid Films Vol. 33[4] Pages: 965-968
  • NAID: 130007809546
  • Peer Reviewed
• [Presentation] Optical study on the mechanisms of gliding arc discharge (2011)
  • Author(s): Hiroharu Kawasaki
  • Organizer: 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議場(愛知県)
  • Year and Date: 2011-03-07
• [Presentation] 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作製の試 (2011)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」平成22年度第3回会議
  • Place of Presentation: 九州大学(福岡県)
  • Year and Date: 2011-01-07
• [Presentation] 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials (2011)
  • Author(s): Ikuta Muramoto, Shin-ichi Aoqui, Hiroharu Kawasaki, Fumiaki Mitsugi, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
  • Organizer: Nagoya Institute of Technology
  • Place of Presentation: Nagoya, Japan
• [Presentation] プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 (2010)
  • Author(s): 村上雄紀、大島多美子、川崎仁晴、須田義昭、柳生義人
  • Organizer: 第14回支部大会C4
  • Place of Presentation: 九州大学
  • Year and Date: 2010-12-18
• [Presentation] プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部 (2010)
  • Author(s): 坂本翔太、柳生義人、山崎隆志、川崎仁晴、大島多美子、須田義昭、林信哉
  • Organizer: 第14回支部大会B3
  • Place of Presentation: 九州大学
  • Year and Date: 2010-12-18
• [Presentation] 複数の菌種に対するプラズマジェット照射 (2010)
  • Author(s): 坂本翔太
  • Organizer: プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部大会
  • Place of Presentation: 九州大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-12-18
• [Presentation] レーザーアブレーション法によるAlドープ酸化亜鉛薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 村上雄紀
  • Organizer: プラズマ核融合学会九州・沖縄・山口支部大会
  • Place of Presentation: 九州大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-12-18
• [Presentation] Preperation of Al93 Thin Films for Organic Electro-Luminescence using plasma ablation method (2010)
  • Author(s): Hiroharu Kawasaki
  • Organizer: TENCON2010
  • Place of Presentation: 福岡国際会議場(福岡県)
  • Year and Date: 2010-11-21
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): Hiroharu Kawasaki, Toshinobu Shigematsu, Yoshirou Terasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63 CPT-I-9
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): Takeru Kanazawa, Hiroharu Kawasaki, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu, Yoshiaki Suda
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63 CPT-I-10
  • Place of Presentation: Maisonde la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): Tamiko Ohshima, Yuuki Murakami, Hiroharu Kawasaki, Yoshiaki Suda, Yoshihito Yagyu
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] Preparation of AZO thin films by pulsed laser deposition forall solid-state ECDs (2010)
  • Author(s): Tamiko Ohshima
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] Research on optimum condition to prepare carbon nano structure using MOCVD method (2010)
  • Author(s): T.Kanazawa
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63 CPT-1-10
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] Study on carbon nanotube preparation using arc discharge in liquid helium (2010)
  • Author(s): Hiroharu Kawasaki
  • Organizer: ICRP-7/SPP-28/GEC-63 CPT-I-9
  • Place of Presentation: Maison de la Chimie, Paris, France
  • Year and Date: 2010-10-05
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 吉富創,島多美子大,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-15
  • Place of Presentation: 九州産業大学
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 田島由衣,晴川崎仁,須田義昭,大島多美子,柳生義人,青木振一
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-14
  • Place of Presentation: 九州産業大学
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 川島明慎,大島多美子,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-06
  • Place of Presentation: 九州産業大学
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 村上雄紀,大島多美子,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-05
  • Place of Presentation: 九州産業大学
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] PLD法によるECD用AZO薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 村上雄紀
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-OS
  • Place of Presentation: 九州産業大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] PLD法によるECD用AZO薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 川島明慎
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-06
  • Place of Presentation: 九州産業大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] PLD法によるECD用AZO薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 田島由衣
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-14
  • Place of Presentation: 九州産業大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] PLD法によるECD用AZO薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 吉富創
  • Organizer: H22電気関係学会九州支部大会06-1P-15
  • Place of Presentation: 九州産業大学(福岡県)
  • Year and Date: 2010-09-25
• [Presentation] 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作製の試 (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」平成22年度第2回会議
  • Place of Presentation: 名古屋会議室(愛知県)
  • Year and Date: 2010-09-24
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 柳生義人,坂本翔太,山崎隆志,林信哉,川崎仁晴,大島多美子,須田義昭
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会16a-ZH-6
  • Place of Presentation: 長崎大学
  • Year and Date: 2010-09-17
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 大島多美子,村上雄紀,川崎仁晴,須田義昭,柳生義人
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会17a-NE-5
  • Place of Presentation: 長崎大学
  • Year and Date: 2010-09-17
• [Presentation] 全固体エレクトロクロミックディスプレイ用酸化亜鉛系透明導電薄膜の作製 (2010)
  • Author(s): 大島多美子
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会17a-NE-5
  • Place of Presentation: 長崎大学(長崎県)
  • Year and Date: 2010-09-17
• [Presentation] 複数種の微生物へのプラズマ照射の影響 (2010)
  • Author(s): 柳生義人
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会16a-ZH-6
  • Place of Presentation: 長崎大学(長崎県)
  • Year and Date: 2010-09-17
• [Presentation] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース(2) (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会15a-P6-5
  • Place of Presentation: 長崎大学(長崎県)
  • Year and Date: 2010-09-15
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴,重松利信,大島多美子,柳生義人,須田義昭
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会14a-P2-17
  • Place of Presentation: 長崎大学
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] 強制対流極低温液体ヘリウム中放電によるナノ構造物の試作 (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成22年度第71回応用物理学学術講演会14a-P2-17
  • Place of Presentation: 長崎大学(長崎県)
  • Year and Date: 2010-09-14
• [Presentation] 共同研究を通した異文化交流力を持つ国際的技術者の育成II (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 教育フロンティア研究会、FIE-10-029
  • Place of Presentation: 電気学会第1～第4会議室(東京都)
  • Year and Date: 2010-09-08
• [Presentation] 佐世保高専における高電圧プラズマ関連の研究 (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成22年度産学連携フェスタ
  • Place of Presentation: 国立大学島原共同研修センター(長崎県)
  • Year and Date: 2010-08-28
• [Presentation] 国際的協業による実践的若年技術者の育成事業とその成果 (2010)
  • Author(s): 須田義昭
  • Organizer: 平成22年度全国高専教育フォーラムの開催
  • Place of Presentation: 長岡技術科学大学講義棟(新潟県)
  • Year and Date: 2010-08-27
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): 吉富創,川崎仁晴,大島多美子,須田善行
  • Organizer: 平成21年度高専連携教育研究プロジェクト学生成果報告会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学講義棟
  • Year and Date: 2010-08-20
• [Presentation] CNTを用いた小型高感度環境ガスセンサの作製 (2010)
  • Author(s): 吉富創
  • Organizer: 平成21年度高専連携教育研究プロジェクト学生成果報告会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学講義棟(愛知県)
  • Year and Date: 2010-08-20
• [Presentation] 極低温強制対流場を用いたナノ構造物作製の試み (2010)
  • Author(s): 柳生義人
  • Organizer: 新学術領域「プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術基盤の創成」第1回全体会議
  • Place of Presentation: 熱海会議場(静岡県)
  • Year and Date: 2010-08-08
• [Presentation] 研究室を発展させるために-佐世保高専の人,金,装置,研究テーマの歴史 (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成22年度(第37回)西日本放電懇談会
  • Place of Presentation: 東洋館会議室(佐賀県)
  • Year and Date: 2010-08-08
• [Presentation] Fostering Practical Engineers Through Cooperative Problem-Based Learning with Students from Overseas Universities (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: The First Asia-Europe Physics Summit
  • Place of Presentation: エポカル筑波(茨城県)
  • Year and Date: 2010-03-24
• [Presentation] Dependence of Removal Properties of Allergenic Proteins on Gaseous Species of RF Plasma (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学
  • Year and Date: 2010-03-19
• [Presentation] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース(1) (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 2010年春季 第57回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 東海大学
  • Year and Date: 2010-03-18
• [Presentation] 異文化交流力涵養のための国際的技術者育成コース制度 (2010)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 教育フロンティア研究会
  • Place of Presentation: 福岡工業大学
  • Year and Date: 2010-03-03
• [Presentation] Dependence of Removal Properties of Allergenic Proteins on Gaseous Species of RF Plasma (2010)
  • Author(s): Yoshihito Yagyu
  • Organizer: 第27回プラズマプロセシング研究会
  • Place of Presentation: 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン
  • Year and Date: 2010-02-02
• [Presentation] (2010)
  • Author(s): Hiroharu Kawasaki, Yoshiaki Suda, Tamiko Ohshima, Yoshihito Yagyu
  • Organizer: TENCON2010
  • Place of Presentation: Fukuoka, Japan
• [Presentation] レーザアブレーション法によるエレクトロクロミック用透明導電薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: プラズマ・核融合学会 第13回九州・沖縄・山口支部支部大会
  • Place of Presentation: 山口大学
  • Year and Date: 2009-12-23
• [Presentation] Preparation of WO3/ITO/electrolyte multilayer thin films using PLD method (2009)
  • Author(s): H.Kawasaki
  • Organizer: 第20回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜情報文化センター(神奈川県)
  • Year and Date: 2009-12-09
• [Presentation] Pulsed Laser Deposition and Characterization of Transparent Conducting Oxide thin films (2009)
  • Author(s): T.Ohshima
  • Organizer: 第20回日本MRS学術シンポジウム
  • Place of Presentation: 横浜市開港記念会館(神奈川県)
  • Year and Date: 2009-12-09
• [Presentation] 低圧酸素高周波プラズマを用いた蛋白質除去に関する研究-酸素原子および-重項酸素分子の寄与- (2009)
  • Author(s): 疋田良
  • Organizer: H21応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 熊本大学
  • Year and Date: 2009-11-21
• [Presentation] ジャンボタニシのオゾンに対する走性試験 (2009)
  • Author(s): 松本千春
  • Organizer: H21応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 熊本大学
  • Year and Date: 2009-11-21
• [Presentation] 分子動力学法を用いた液体ヘリウム中でのカーボンナノ物質生成シミュレーション (2009)
  • Author(s): 寺崎義朗
  • Organizer: H21応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 熊本大学
  • Year and Date: 2009-11-21
• [Presentation] 海外の学生同士の共同作業を用いた国際的技術者の育成 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: H21応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 熊本大学
  • Year and Date: 2009-11-21
• [Presentation] PLD法による有機EL薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 千葉雅人
  • Organizer: H21電気関係学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2009-09-28
• [Presentation] 有機金属溶液を用いたナノ構造体の作製に関する研究 (2009)
  • Author(s): 金澤武
  • Organizer: H21電気関係学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2009-09-28
• [Presentation] 変調磁界を用いた金属細管外壁に対するハードコーティング (2009)
  • Author(s): 柴原克樹
  • Organizer: H21電気関係学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2009-09-28
• [Presentation] PLD法によるECD用透明導電薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 金子竜也
  • Organizer: H21電気関係学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2009-09-28
• [Presentation] 熱CVDを用いたCarbon Nanotubes成長の高効率化 (2009)
  • Author(s): 岩下康紀
  • Organizer: H21電気関係学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 九州工業大学
  • Year and Date: 2009-09-28
• [Presentation] Cylinder rod surface coating using sputtering deposition method with modulated magnetic field (2009)
  • Author(s): Hiroharu KAWASAKI
  • Organizer: The 31st International Symposium on Dry Process
  • Place of Presentation: BEXCO、Korea
  • Year and Date: 2009-09-24
• [Presentation] Fabrication of tungsten oxide thin film on the flexible substrate using RF magnetron sputtering in Ar/O2 mixture gas (2009)
  • Author(s): Takeaki MATSUNAGA
  • Organizer: The 31st International Symposium on Dry Process
  • Place of Presentation: BEXCO、Korea
  • Year and Date: 2009-09-24
• [Presentation] Effect of RF Plasma on Reduction of Allergen Substance (2009)
  • Author(s): Y.Yagyu
  • Organizer: The 31st International Symposium on Dry Process
  • Place of Presentation: BEXCO、Korea
  • Year and Date: 2009-09-24
• [Presentation] RF低圧プラズマによるアレルゲン蛋白質の除去特性 (2009)
  • Author(s): 柳生義人
  • Organizer: 平成21年度第70回応用物理学学術講演会
  • Place of Presentation: 富山大学
  • Year and Date: 2009-09-10
• [Presentation] マグネトロンスパッタ法を用いた円筒(棒)外壁コーティングII (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成21年度第70回応用物理学学術講演会
  • Place of Presentation: 富山大学
  • Year and Date: 2009-09-09
• [Presentation] オゾンを利用した高品質フレキシブルエレクトロクロミック薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: JSTイノベーションプラザ成果発表会
  • Place of Presentation: JSTイノベーションプラザ福岡(福岡県)
  • Year and Date: 2009-09-03
• [Presentation] プラズマプロセスを用いた高感度多機能ガスセンサの作製と評価に関する研究 (2009)
  • Author(s): 金澤武
  • Organizer: 日本高専学会第15回年会・講演会
  • Place of Presentation: 豊橋技術科学大学
  • Year and Date: 2009-08-28
• [Presentation] 佐世保高専における日中相互交流の実情とその効果 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 平成21年度 独立行政法人国立高等専門学校機構主催教育教員研究集会
  • Place of Presentation: 豊田高専
  • Year and Date: 2009-08-19
• [Presentation] 日中相互交流事業を通した実践的技術者の育成(業績賞受賞講演) (2009)
  • Author(s): 須田義昭
  • Organizer: 日本工学教育協会年時講演会
  • Place of Presentation: 名古屋大学
  • Year and Date: 2009-08-07
• [Presentation] スパッタリング成膜法を用いた円筒棒外壁コーティングの試み (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 電気学会 プラズマ研究会
  • Place of Presentation: 佐賀大学理工学部
  • Year and Date: 2009-06-13
• [Presentation] 低温下プラズマプロセスによるナノ構造物作製機構の解明 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: ナノ学会第7回大会
  • Place of Presentation: 東京大学
  • Year and Date: 2009-05-09
• [Presentation] Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 6th International Symposium on Transparent Oxide Thin Films for Electronics and Optics
  • Place of Presentation: 東京ファッションタウンビル(東京都)
  • Year and Date: 2009-04-15
• [Presentation] PLD法による有機EL薄膜の作製とその評価 (2009)
  • Author(s): 大島多美子
  • Organizer: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学
  • Year and Date: 2009-03-29
• [Presentation] 国際インターンシップ事業を通した実践的技術者の育成とその効果 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 第56回応用物理学関係連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学
  • Year and Date: 2009-03-29
• [Presentation] PLD法による有機薄膜の作製 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 北海道大学
  • Year and Date: 2009-03-19
• [Presentation] 国際インターンシップ事業を通した実践的技術者の育成とその効果 (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 電気学会全国大会
  • Place of Presentation: 北海道大学
  • Year and Date: 2009-03-18
• [Presentation] 日中両国における実践的若年技術者育成事業II (2009)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 教育フロンティア研究会
  • Place of Presentation: 千葉大学工学部
  • Year and Date: 2009-03-06
• [Presentation] Effect of ambient gases under RF plasma on treatment of protein (2009)
  • Author(s): 柳生義人
  • Organizer: 第26回プラズマプロセシング研究会
  • Place of Presentation: 名古屋大学
  • Year and Date: 2009-02-02
• [Presentation] プラズマプロセスを用いたWO3薄膜の作製〜ガス流量比依存性〜 (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: プラズマ・核融合学会 九州・沖縄・山口支部 第12回支部大会
  • Place of Presentation: 九州大学
  • Year and Date: 2008-12-22
• [Presentation] The Crystalization of Carbon Nanotubes in Liquid Helium (2008)
  • Author(s): 重松俊信
  • Organizer: The IUMRS International Conference in Asia 2008
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議
  • Year and Date: 2008-12-12
• [Presentation] Relations between Optical Emission Spectroscopy and of Film Quality of Tungsten Oxide Grown By PLD Method (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: The IUMRS International Conference in Asia 2008
  • Place of Presentation: 名古屋国際会議
  • Year and Date: 2008-12-11
• [Presentation] 日中相互交流を通した実践的若年技術者の育成とその効果 (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 宮崎大学
  • Year and Date: 2008-11-30
• [Presentation] スパッタリング法を用いて作製したWO3薄膜のガス流量比依存性 (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 応用物理学会九州支部大会
  • Place of Presentation: 宮崎大学
  • Year and Date: 2008-11-29
• [Presentation] PREPARATION OF WO3 THIN FILMS FOR ELECTROCHROMIC DISPLAY BY PLASMA PROCESS (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 14th International Congress on Plasma Physics 2008 in Fukuoka Japan
  • Place of Presentation: Fukuoka International Congress Center
  • Year and Date: 2008-09-12
• [Presentation] INFLUENCE OF ATOMIC AND MOLECULAR OXIGEN GENERATED BY PLASMA ON REDUCTION OF PROTEIN (2008)
  • Author(s): 柳生義人
  • Organizer: 14th International Congress on Plasma Physics 2008 in Fukuoka Japan
  • Place of Presentation: Fukuoka International Congress Center
  • Year and Date: 2008-09-11
• [Presentation] Preparation of W03 thin films for electrochromic display by plasma process (2008)
  • Author(s): 川崎仁晴
  • Organizer: 1st Sino-Japanese Forum Higher Vocational Education
  • Place of Presentation: 承徳石油高等専科学院
  • Year and Date: 2008-05-13