Optical frequency scanning microscope to measure the step-height and the deformation of a small specimen.

• Project/Area Number: 20560030
• Research Category: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• Allocation Type: Single-year Grants
• Section: 一般
• Research Field: Applied optics/Quantum optical engineering
• Research Institution: Hokkaido University
• Principal Investigator: KAKUMA Seiichi 北海道大学, 大学院・工学研究院, 助教 (90204338)
• Project Period (FY): 2008 – 2010
• Project Status: Completed (Fiscal Year 2010)
• Budget Amount: ¥4,420,000 (Direct Cost: ¥3,400,000、Indirect Cost: ¥1,020,000); Fiscal Year 2010: ¥1,300,000 (Direct Cost: ¥1,000,000、Indirect Cost: ¥300,000); Fiscal Year 2009: ¥1,430,000 (Direct Cost: ¥1,100,000、Indirect Cost: ¥330,000); Fiscal Year 2008: ¥1,690,000 (Direct Cost: ¥1,300,000、Indirect Cost: ¥390,000)
• Keywords: 光周波数走査 / 干渉計 / 半導体レーザ / 長さ変化 / 形状計測 / 光計測 / 波長走査 / 微小段差 / 波長連続走査 / 平渉計

Research Abstract

A frequency scanning type interferometric laser microscope has been developed using a pair of vertical-cavity-surface-emitting-laser-diodes capable of frequency scanning with a broad scan range. The presented system can measure both the geometric height and the deformation of the test piece simultaneously. As a result of the experiments, the profile and the thermal expansion of the metal sample with a 200 micron-cube.

Research Products

• [Journal Article] Resolution improvement in vertical-cavity-surface-emitting-laser diode interferometry based on linear least-squares estimation of phase gradients of phase-locked fringes (2010)
  • Author(s): S. Kakuma and Y. Katase
  • Journal Title: Opt. Rev. Volume: Vol.17 Pages: 481-485
  • NAID: 10026690051
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] Resolution improvement in vertical-cavity-surface-emitting-laser diode interferometry based on linear least-squares estimation of phase gradients of phase-locked fringes (2010)
  • Author(s): S.Kakuma, Y.Katase
  • Journal Title: Optical Review Volume: 17 Pages: 481-485
  • NAID: 10026690051
  • Peer Reviewed
• [Journal Article] 波長走査半導体レーザによる高精度長さ測定 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Journal Title: 光アライアンス Volume: 20巻 Pages: 41-45
  • NAID: 40016911447
• [Journal Article] 波長走査半導体レーザによる高精度長さ測定 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Journal Title: 光アライアンス 20 Pages: 41-45
  • NAID: 40016911447
• [Presentation] 面発光型半導体レーザ顕微干渉計による微小物体の精密形状計測 (2011)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 金沢大学工学部(金沢県金沢市)
  • Year and Date: 2011-09-21
• [Presentation] 広領域周波数走査面発光半導体レーザ干渉計による微小物体の3次元形状計測 (2010)
  • Author(s): 片瀬康彦、覚間誠一
  • Organizer: Optics & Photonics Japan 2010
  • Place of Presentation: 中央大学駿河台記念館(東京都千代田区)
  • Year and Date: 2010-11-10
• [Presentation] 面発光型半導体レーザを用いた広領域波長走査干渉測長法 (2010)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 光計測シンポジウム
  • Place of Presentation: パシフィコ横浜(神奈川県横浜市)
  • Year and Date: 2010-06-09
• [Presentation] PLL型周波数走査VCSELを用いたキャリア位相勾配推定による精密長さ測定 (2009)
  • Author(s): 片瀬康彦、覚間誠一
  • Organizer: Optics & Photonics Japan 2009
  • Place of Presentation: 新潟朱鷺メッセ(新潟市)
  • Year and Date: 2009-11-26
• [Presentation] PLL型周波数走査VCSELを用いたキャリア位相勾配推定による精密長さ測定 (2009)
  • Author(s): 片瀬康彦、覚間誠一
  • Organizer: Optics & Photonics Japan 2009
  • Place of Presentation: 新潟(新潟朱鷺メッセ)
  • Year and Date: 2009-11-26
• [Presentation] PLL型波長走査干渉計を用いた干渉縞位相勾配推定による絶対長さ測定 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 神戸大学(神戸市)
  • Year and Date: 2009-09-12
• [Presentation] PLL型波長走査干渉計を用いた干渉縞位相勾配推定による絶対長さ測定 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 2009年度精密工学会秋季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 神戸(神戸大学)
  • Year and Date: 2009-09-12
• [Presentation] 双方向周波数走査面発光レーザを用いる高安定・高分解能干渉測長 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 第56回応用物理学会関係連合講演会
  • Place of Presentation: 筑波大学(つくば市)
  • Year and Date: 2009-04-01
• [Presentation] 双方向周波数走査面発光レ-ザを用いる高安定・高分解能干渉測長 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 第56回応用物理学会関係連合講演会
  • Place of Presentation: つくば市(筑波大学)
  • Year and Date: 2009-04-01
• [Presentation] 一対の面発光レーザによる高精度周波数走査干渉測長法 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 中央大学(東京都千代田区)
  • Year and Date: 2009-03-12
• [Presentation] 一対の面発光レーザによる高精度周波数走査干渉測長法 (2009)
  • Author(s): 覚間誠一、片瀬康彦
  • Organizer: 2009年度精密工学会春季大会学術講演会
  • Place of Presentation: 東京(中央大学)
  • Year and Date: 2009-03-12